・大流量过滤（最大350L/min）。・使用V型带，容易更换滤芯（带有防止盖子崩飞的构造）。 系列连接口径最高使用压力使用温度（℃） FGGRc20.7MPa最高80 ...

・中流量过滤（最大230L/min）。・使用V型带，容易更换滤芯（带有防止盖子崩飞的构造）。 系列连接口径最高使用压力使用温度（℃） FGER1，20.7MPa最高80 ...

・小流量过滤（最大60L/min）。・可选择防带电规格（FGDE、FGDF）。 系列连接口径最高使用压力使用温度（℃） FGDRc3/8，1/2，3/40.7，1MPa最高80 ...

・可在真空环境内（1.3×10-4Pa）执行搬运工作的气缸。 系列使用环境压力｛Pa（ABS）｝缸筒内径（mm） CYV大气～1.3×10-415，32 ...

・适用于半导体装置等的负载锁定室和传送腔室　及传送腔室和工艺腔室之间的隔离阀。 系列使用环境压力（Pa）使用流体开口窗尺寸（高×宽）（mm）动作压力（MPa） XGT大气压～10-6...

・长寿命：300万次（常温时）・发尘量：减少1/5以下（与以前产品相比）・维护性提高　容易更换波纹管　可通过顶部拆装门（订制）・安全对策　采用机械式端锁机构 系列使用环境压力（Pa）使用流体开口窗尺...

・防止粗抽泵(回转泵)的油逆向流入腔室。・大气开放阀一体结构减少作业工时。 系列操作方式阀形式轴密封方式法兰尺寸 XLJ电磁式常闭、真空先导O形圈密封25、40 ...

・阀和针阀一体化的结构，配管空间减少1/4（与以前产品相比）・密封部采用金属膜片，微粒大幅减少・可同时对初期供气、主供气进行流量调整 系列阀形式使用流体配管连接方式配管尺寸 XVD常...

・最低使用压力：1×10-6Pa(abs)・泄漏量：内部1.3×10-9Pa・m3/s、外部1.3×10-11Pa・m3/s・备有2种接头、内螺纹・消耗功率：最大减少25%・重量：最大减轻18%　0....

・不滞留气体的精密铸造一体结构・与铝制高真空L型阀XL系列有安装互换性（XM系列）注）直线型无尺寸16。 系列操作方式轴密封方式阀形式材质法兰尺寸 XMA/XYA气控式波纹管密封单作...

・快速装卸（无需工具）。 系列操作方式轴密封方式阀形式材质法兰尺寸 XLAQ气控式波纹管密封单作用（N.C.）主体：铝波纹管：SUS316L16～50 XLDQ气控式...

・耐氟性强・气体溢出少・重金属污染小※法兰尺寸16〜80的XLA/C/F/G已进行了产品变更。　 请选择XLA-2/XLC-2/XLF-2/XLG-2系列。 系列操作方式阀形式轴密封方式用途法兰尺寸...

・波纹管耐久性提升（法兰尺寸100、160）・寿命：200万次・可实现装置的省空间化　无排气方向限制(阀体侧←→波纹管侧 两方向均可)　安装姿势的自由度提升・轻量、紧凑 系列操作方式阀形式轴密封方式...

・采用铝制主体　均一的烤焙温度　轻量·紧凑　气体溢出少　重金属污染少・可更换波纹管 系列操作方式阀形式轴密封方式用途法兰尺寸 XLA-2气控式单作用（N.C.）波纹管密封无尘清洁化1...

［单向阀］・背压可防止流体的逆流。・结构简单，内部的可动零部件仅限O形圈。・采用无弹簧的结构，可减少因震颤等产生的颗粒，并降低下游侧的压力变动。［真空发生器］・真空发生器・更换钢瓶时，用于排出配管中残...

・用于半导体等需要高洁净度气体的行业。・可作为气体的切断阀使用。・接触气体部分无弹簧，驱动部也使用膜片隔离，因此减小了气路的死区，抑制了粒子的产生。 系列名称形式主体材质 AP高纯度...

・适合半导体等需要供给高洁净度气体的行业。・主体材质为SUS316L二次熔炼或SUS316L。・接触气体部分经过电解研磨处理。・外部金属密封构造。 系列形式用途主体材质 AP高纯度工...

・稳定供给经过调温· 调压的干燥洁净空气　不论任何季节，均可供给同等条件和质量的压缩空气・应用示例：　向机床的空气轴承等供给一定条件的压缩空气・内置过滤器　过滤精度：0.01μm（99.9％捕捉效率）...

・使用珀尔帖元件的小型温控器・用于局部温控或小容量的温控 系列设定温度范围冷却能力温度稳定性冷却方式适合流体 HEA0～50℃22W±0.1℃珀尔帖式风冷空气 ...

・使用珀尔帖元件的化学液直接温控用热交换器・氟树脂热交换器，故可对应多种化学液・符合CE认证 系列设定温度范围冷却能力温度稳定性冷却方式循环液 HED10～60℃300W500W75...