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产品简介：缝阀XGT
・适用于半导体装置等的负载锁定室和传送腔室 及传送腔室和工艺腔室之间的隔离阀。 系列使用环境压力（Pa）使用流体开口窗尺寸（高×宽）（mm）动作压力（MPa） XGT大气压～10-6惰性气体类相关真空32×22246×23650×3360.45～0.6
| 系列 | 使用环境压力（Pa） | 使用流体 | 开口窗尺寸 （高×宽）（mm） | 动作压力 （MPa） |
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| XGT | 大气压～10-6 | 惰性气体类相关真空 | 32×222 46×236 50×336 | 0.45～0.6 |
缝阀XGT 是属于SMC公司旗下高真空元件系列产品，型号为XGT，购买或询价 缝阀XGT 可直接联系158 0047 0089(贺工)。
