・适用于半导体装置等的负载锁定室和传送腔室　及传送腔室和工艺腔室之间的隔离阀。 系列使用环境压力（Pa）使用流体开口窗尺寸（高×宽）（mm）动作压力（MPa） XGT大气压～10-6...

・长寿命：300万次（常温时）・发尘量：减少1/5以下（与以前产品相比）・维护性提高　容易更换波纹管　可通过顶部拆装门（订制）・安全对策　采用机械式端锁机构 系列使用环境压力（Pa）使用流体开口窗尺...