・在HRZ系列的高性能基础上，采用了DC变频压缩机，实现了节能・温度范围和冷却能力范围大・用于刷新循环块的半导体装置等，可平缓地对应过程条件的变化・符合UL, SEMI规格及CE标识※提供样机试用服务...

・温度稳定性高、温度范围大、有故障诊断、外部通信等功能，广泛用于半导体行业・符合各种安全规格・符合UL, SEMI规格以及CE标识※提供样机试用服务　请与最近的营业所联系　营业所一览 シリーズ设定温...

・采用DC变频式压缩机和变频泵实现更大幅度的节能・节能　按照客户设备的负载， 对压缩机、泵的电机回转数进行变频控制　消耗功率：Max65％削減　冷却水量：Max67％削減・高性能　温度稳定性：±0.1...

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・使用冷媒R407C（HFC）・耐高温环境！　大型风冷式，业界高等级　环境温度最大 45℃、进气温度最大 60℃・节能设计　排热量最大削减25%，可抑制环境温度的上升　采用耐腐蚀性良好的不锈钢制热交换...