产品简介：温控器/高性能变频型HRZ

・在HRZ系列的高性能基础上，采用了DC变频压缩机，实现了节能・温度范围和冷却能力范围大・用于刷新循环块的半导体装置等，可平缓地对应过程条件的变化・符合UL, SEMI规格及CE标识※提供样机试用服务　请与最近的营业所联系　营业所一览 系列设定温度范围冷却能力温度稳定性冷却方式循环液 HRZ－20～90℃10～60℃10kW±0.1℃水冷冷冻式氟化液清水脱离子水（纯水）乙二醇水溶液（60％）