・防止粗抽泵(回转泵)的油逆向流入腔室。・大气开放阀一体结构减少作业工时。 系列操作方式阀形式轴密封方式法兰尺寸 XLJ电磁式常闭、真空先导O形圈密封25、40 ...

・快速装卸（无需工具）。 系列操作方式轴密封方式阀形式材质法兰尺寸 XLAQ气控式波纹管密封单作用（N.C.）主体：铝波纹管：SUS316L16～50 XLDQ气控式...

・耐氟性强・气体溢出少・重金属污染小※法兰尺寸16〜80的XLA/C/F/G已进行了产品变更。　 请选择XLA-2/XLC-2/XLF-2/XLG-2系列。 系列操作方式阀形式轴密封方式用途法兰尺寸...

・波纹管耐久性提升（法兰尺寸100、160）・寿命：200万次・可实现装置的省空间化　无排气方向限制(阀体侧←→波纹管侧 两方向均可)　安装姿势的自由度提升・轻量、紧凑 系列操作方式阀形式轴密封方式...

・采用铝制主体　均一的烤焙温度　轻量·紧凑　气体溢出少　重金属污染少・可更换波纹管 系列操作方式阀形式轴密封方式用途法兰尺寸 XLA-2气控式单作用（N.C.）波纹管密封无尘清洁化1...