・防护等级：JISF8007 IP65（符合IEC 60529）。・监测功能。・防爆构造。　　电-气定位器：　　　TIIS耐压防爆构造（ExdⅡBT5）。　　　ATEX本质安全防爆构造（Ⅱ2G Ex ...

・机械强度大、耐压能力强、耐腐蚀性强。・可机械加工、铆接、钎接、焊接及同时烧结。・洗净后可重复使用。 系列材质公称过滤精度 EB铜（1）2，5，10，20，40，70，100，120...

・螺纹连接・轻量：2.5kg(铝制主体)・使用压力：－100~0kPa・公称过滤精度：149μm(100目)・可使用真空用压力表进行堵塞管理 系列连接口径使用压力（kPa）公称过滤精度（μm） ...

・无需更换滤芯。・滤芯为可自动逆洗的构造。 系列连接口径最高使用压力使用温度（℃） FN1Rc11MPa最高80 FN4Rc21MPaMAX.80 ...

・小流量过滤（最大30L/min）。・无需工具。・更换滤芯仅需60秒。 系列连接口径最高使用压力使用温度（℃） FQ1Rc1/2，3/4，11MPa最高80 ...

・过滤效率：去除99％以上。 系列连接口径最高使用压力使用温度（℃） FGHRc3/8～11MPa最高80 ...

・用于高浊度、高粘度液体的过滤。・大流量过滤（最大2000L/min）。・滤出的异物容易处理。 系列连接口径最高使用压力使用温度（℃） FGF100（4B），150（6B）JIS 1...

・小流量过滤（最大80L/min）。 系列连接口径最高使用压力使用温度（℃） FGC15～25（1/2B～1B）JIS 10KFF1，2，4MPa最高80 ...

・大流量过滤（最大3200L/min）。 系列连接口径最高使用压力使用温度（℃） FGA25～150（1B～6B）JIS 10KFF1MPa最大80 ...

・大流量过滤（最大350L/min）。・使用V型带，容易更换滤芯（带有防止盖子崩飞的构造）。 系列连接口径最高使用压力使用温度（℃） FGGRc20.7MPa最高80 ...

・中流量过滤（最大230L/min）。・使用V型带，容易更换滤芯（带有防止盖子崩飞的构造）。 系列连接口径最高使用压力使用温度（℃） FGER1，20.7MPa最高80 ...

・小流量过滤（最大60L/min）。・可选择防带电规格（FGDE、FGDF）。 系列连接口径最高使用压力使用温度（℃） FGDRc3/8，1/2，3/40.7，1MPa最高80 ...

・可在真空环境内（1.3×10-4Pa）执行搬运工作的气缸。 系列使用环境压力｛Pa（ABS）｝缸筒内径（mm） CYV大气～1.3×10-415，32 ...

・适用于半导体装置等的负载锁定室和传送腔室　及传送腔室和工艺腔室之间的隔离阀。 系列使用环境压力（Pa）使用流体开口窗尺寸（高×宽）（mm）动作压力（MPa） XGT大气压～10-6...

・长寿命：300万次（常温时）・发尘量：减少1/5以下（与以前产品相比）・维护性提高　容易更换波纹管　可通过顶部拆装门（订制）・安全对策　采用机械式端锁机构 系列使用环境压力（Pa）使用流体开口窗尺...

・防止粗抽泵(回转泵)的油逆向流入腔室。・大气开放阀一体结构减少作业工时。 系列操作方式阀形式轴密封方式法兰尺寸 XLJ电磁式常闭、真空先导O形圈密封25、40 ...

・阀和针阀一体化的结构，配管空间减少1/4（与以前产品相比）・密封部采用金属膜片，微粒大幅减少・可同时对初期供气、主供气进行流量调整 系列阀形式使用流体配管连接方式配管尺寸 XVD常...

・最低使用压力：1×10-6Pa(abs)・泄漏量：内部1.3×10-9Pa・m3/s、外部1.3×10-11Pa・m3/s・备有2种接头、内螺纹・消耗功率：最大减少25%・重量：最大减轻18%　0....

・不滞留气体的精密铸造一体结构・与铝制高真空L型阀XL系列有安装互换性（XM系列）注）直线型无尺寸16。 系列操作方式轴密封方式阀形式材质法兰尺寸 XMA/XYA气控式波纹管密封单作...

・快速装卸（无需工具）。 系列操作方式轴密封方式阀形式材质法兰尺寸 XLAQ气控式波纹管密封单作用（N.C.）主体：铝波纹管：SUS316L16～50 XLDQ气控式...