・中流量过滤（最大230L/min）。・使用V型带，容易更换滤芯（带有防止盖子崩飞的构造）。 系列连接口径最高使用压力使用温度（℃） FGER1，20.7MPa最高80 ...

・小流量过滤（最大60L/min）。・可选择防带电规格（FGDE、FGDF）。 系列连接口径最高使用压力使用温度（℃） FGDRc3/8，1/2，3/40.7，1MPa最高80 ...

・适用于半导体装置等的负载锁定室和传送腔室　及传送腔室和工艺腔室之间的隔离阀。 系列使用环境压力（Pa）使用流体开口窗尺寸（高×宽）（mm）动作压力（MPa） XGT大气压～10-6...

・长寿命：300万次（常温时）・发尘量：减少1/5以下（与以前产品相比）・维护性提高　容易更换波纹管　可通过顶部拆装门（订制）・安全对策　采用机械式端锁机构 系列使用环境压力（Pa）使用流体开口窗尺...

・采用铝制主体　均一的烤焙温度　轻量·紧凑　气体溢出少　重金属污染少・可更换波纹管 系列操作方式阀形式轴密封方式用途法兰尺寸 XLA-2气控式单作用（N.C.）波纹管密封无尘清洁化1...

・对应低GWP冷媒　GWP：146※　　※ Regulation (EU) 2024/573, AIM Act 40 CFR Part 84基准　　EU冷媒管制：GWP 150以上　　美国冷媒管制：G...

・对应低GWP冷媒　GWP：146※ ※ Regulation (EU) 2024/573、AIM Act 40 CFR Part 84标准　　EU冷媒管制：GWP 150以上　　美国冷媒管制：GWP...

・对应低GWP冷媒　GWP：148※　※ IPCC AR4基准　　EU冷媒管制：GWP 150以上　　美国冷媒管制：GWP 700以上　　加利福尼亚州冷媒管制：GWP 750以上・环境对应冷媒R454...

・对应低GWP冷媒　GWP：148※　※ IPCC AR4标准　　EU冷媒管制：GWP 150以上　　美国冷媒管制：GWP 700以上　　加利福尼亚州冷媒管制：GWP 750以上・环境对应冷媒R454...

・对应低GWP冷媒　GWP：146※　※ Regulation (EU) 2024/573, AIM Act 40 CFR Part 84标准　　EU冷媒管制：GWP 150以上　　美国冷媒管制：GW...

・对应低GWP冷媒　GWP：146※　※ Regulation (EU) 2024/573, AIM Act 40 CFR Part 84标准　　EU冷媒管制：GWP 150以上　　美国冷媒管制：GW...

・对应低GWP冷媒　GWP：148※　※ IPCC AR4基准　　EU冷媒管制：GWP 150以上　　美国冷媒管制：GWP 700以上　　加利福尼亚州冷媒管制：GWP 750以上・环境对应冷媒R454...

・采用DC变频式压缩机和变频泵实现更大幅度的节能・节能　按照客户设备的负载， 对压缩机、泵的电机回转数进行变频控制　消耗功率：Max65％削減　冷却水量：Max67％削減・高性能　温度稳定性：±0.1...

・对应低GWP冷媒　GWP：146※　　※ Regulation (EU) 2024/573, AIM Act 40 CFR Part 84基准　　EU冷媒管制：GWP 150以上　　美国冷媒管制：G...

・对应低GWP冷媒　GWP：148※　※ IPCC AR4标准　　EU冷媒管制：GWP 150以上　　美国冷媒管制：GWP 700以上　　加利福尼亚州冷媒管制：GWP 750以上・环境对应冷媒R454...

・采用DC变频式压缩机和变频泵实现更大幅度的节能・节能　按照客户设备的负载， 对压缩机、泵的电机回转数进行变频控制　消耗功率：Max65％削減　冷却水量：Max67％削減・高性能　温度稳定性：±0.1...

・对应低GWP冷媒　GWP：146※ ※ Regulation (EU) 2024/573、AIM Act 40 CFR Part 84标准　　EU冷媒管制：GWP 150以上　　美国冷媒管制：GWP...

・对应低GWP冷媒　GWP：146※　　※ Regulation (EU) 2024/573, AIM Act 40 CFR Part 84基准　　EU冷媒管制：GWP 150以上　　美国冷媒管制：G...

・对应低GWP冷媒　GWP：148※　※ IPCC AR4标准　　EU冷媒管制：GWP 150以上　　美国冷媒管制：GWP 700以上　　加利福尼亚州冷媒管制：GWP 750以上・环境对应冷媒R454...

・最高使用压力：3MPa、7MPa、10MPa、14MPa・对应高速研磨、深孔钻头加工・对应高压冷却液的润滑、切削粉吹飞、冷却・低消耗功率：0.35W（DC24V, V116的场合）・寿命300万次以...