・对应低GWP冷媒　GWP：148※　※ IPCC AR4基准　　EU冷媒管制：GWP 150以上　　美国冷媒管制：GWP 700以上　　加利福尼亚州冷媒管制：GWP 750以上・环境对应冷媒R454...

・对应低GWP冷媒　GWP：148※　※ IPCC AR4基准　　EU冷媒管制：GWP 150以上　　美国冷媒管制：GWP 700以上　　加利福尼亚州冷媒管制：GWP 750以上・环境对应冷媒R454...

・1台深冷器可分别控制2个系統・双变频器：DC变频冷冻机与变频泵实现了大幅节能・省空间：设置面积减小23％・省配线、省空间、省工时：电源线缆只有1根，冷却水配管仅有1个系統・符合SEMI规格、CE标识...

・在HRZ系列的高性能基础上，采用了DC变频压缩机，实现了节能・温度范围和冷却能力范围大・用于刷新循环块的半导体装置等，可平缓地对应过程条件的变化・符合UL, SEMI规格及CE标识※提供样机试用服务...

・温度稳定性高、温度范围大、有故障诊断、外部通信等功能，广泛用于半导体行业・符合各种安全规格・符合UL, SEMI规格以及CE标识※提供样机试用服务　请与最近的营业所联系　营业所一览 シリーズ设定温...

・对应低温／－10℃・紧凑：与HRS040尺寸相同・冷却能力：1kW(－10℃时)・温度稳定性：±0.1℃・设定温度范围：－10℃～40℃ 系列设定温度范围冷却能力温度稳定性冷却方式循环液 ...

・温度稳定性高、温度范围大、有故障诊断、外部通信等功能，广泛用于半导体行业・符合各种安全规格・符合UL, SEMI规格以及CE标识※提供样机试用服务　请与最近的营业所联系　营业所一览 シリーズ设定温...

・对应低温／－10℃・紧凑：与HRS040尺寸相同・冷却能力：1kW(－10℃时)・温度稳定性：±0.1℃・设定温度范围：－10℃～40℃ 系列设定温度范围冷却能力温度稳定性冷却方式循环液 ...

・由于无密封带，因此不绝缘。（高用于电压涂装）。・易于在狭窄空间内进行配管的拆装。 系列材质／名称接管口径 VCKSUS316L不锈钢管接头G1/4 ...

・用于空气、水、高温水、油、高温油・阀体材质：Al、树脂、C37、SUS・带快换管接头（树脂阀体）・IP65 系列阀形式接管口径孔口直径（mmφ） VXZN.C.／N.O.φ10，φ...

・无含氟气体・采用CO2冷媒・GWP大幅削减・GWP＝1 可对应各国的冷媒法规　EU冷媒管制 ：GWP150以上　美国冷媒管制 ：GWP700以上　加利福尼亚州冷媒管制 ：GWP750以上　※GWP表...

・1台深冷器可分别控制2个系統・双变频器：DC变频冷冻机与变频泵实现了大幅节能・省空间：设置面积减小23％・省配线、省空间、省工时：电源线缆只有1根，冷却水配管仅有1个系統・符合SEMI规格、CE标识...

・在HRZ系列的高性能基础上，采用了DC变频压缩机，实现了节能・温度范围和冷却能力范围大・用于刷新循环块的半导体装置等，可平缓地对应过程条件的变化・符合UL, SEMI规格及CE标识※提供样机试用服务...

・温度稳定性高、温度范围大、有故障诊断、外部通信等功能，广泛用于半导体行业・符合各种安全规格・符合UL, SEMI规格以及CE标识※提供样机试用服务　请与最近的营业所联系　营业所一览 シリーズ设定温...

・1台深冷器可分别控制2个系統・双变频器：DC变频冷冻机与变频泵实现了大幅节能・省空间：设置面积减小23％・省配线、省空间、省工时：电源线缆只有1根，冷却水配管仅有1个系統・符合SEMI规格、CE标识...

・在HRZ系列的高性能基础上，采用了DC变频压缩机，实现了节能・温度范围和冷却能力范围大・用于刷新循环块的半导体装置等，可平缓地对应过程条件的变化・符合UL, SEMI规格及CE标识※提供样机试用服务...

・温度稳定性高、温度范围大、有故障诊断、外部通信等功能，广泛用于半导体行业・符合各种安全规格・符合UL, SEMI规格以及CE标识※提供样机试用服务　请与最近的营业所联系　营业所一览 シリーズ设定温...

・无含氟气体・采用CO2冷媒・GWP大幅削减・GWP＝1 可对应各国的冷媒法规　EU冷媒管制 ：GWP150以上　美国冷媒管制 ：GWP700以上　加利福尼亚州冷媒管制 ：GWP750以上　※GWP表...

・温度稳定性高、温度范围大、有故障诊断、外部通信等功能，广泛用于半导体行业・符合各种安全规格・符合UL, SEMI规格以及CE标识※提供样机试用服务　请与最近的营业所联系　营业所一览 シリーズ设定温...

・可在同一集装式上控制真空吸盘和执行器驱动 [New]　・正压单元　　5通电磁阀 [New]　・真空发生器　　　节能型真空发生器　空气消耗量:削减90%・对应现场总线　　省空间：无需输入／输出单元（市...