・与工厂内循环水直接热交换・适合在不需要制冷的范围内温控时使用・具有温度稳定性高、温度范围广、故障诊断、外部通信等丰富功能的装置，　在半导体过程控制装置上成果较多・符合UL、SEMI标准、CE认证・可...

・对应低GWP冷媒　GWP：146※ ※ Regulation (EU) 2024/573、AIM Act 40 CFR Part 84标准　　EU冷媒管制：GWP 150以上　　美国冷媒管制：GWP...

・对应低GWP冷媒　GWP：146※　　※ Regulation (EU) 2024/573, AIM Act 40 CFR Part 84基准　　EU冷媒管制：GWP 150以上　　美国冷媒管制：G...

・3相 AC380～415V(50Hz)、3相 AC460～480V(60Hz)・可利用冷冻回路的排热加热循环液，无需加热器。・可设置于室外：IPX4・体积小、省空间 系列设定温度范围冷却能力温度稳...

・对应低GWP冷媒　GWP：148※　※ IPCC AR4标准　　EU冷媒管制：GWP 150以上　　美国冷媒管制：GWP 700以上　　加利福尼亚州冷媒管制：GWP 750以上・环境对应冷媒R454...

・无需加热器，也可通过冷冻回路的排热作用加热循环液・电源可对应欧洲、亚洲、大洋洲、北美、中南美规格・静音设计：70dB（A）・室外设置：IPX4・小型・省空间※提供样机试用服务　请与最近的营业所联系。...

・对应低温／－10℃・紧凑：与HRS040尺寸相同・冷却能力：1kW(－10℃时)・温度稳定性：±0.1℃・设定温度范围：－10℃～40℃ 系列设定温度范围冷却能力温度稳定性冷却方式循环液 ...

・追加小型、节能、输出量增加的主体材质聚丙烯（PP）・小型：高185mm×宽134mm×深202mm・轻量：3.0kg(聚丙烯)・接液泵体材质　可从PP（聚丙烯）、铝合金、不锈钢中选择・备有自动运转型...

・符合氯乙烯配管的JIS标准（JIS K 6742）・适合流体：脱离子水（纯水）、化学液・接液部材質：PVC（主体）　　　　　　　PTFE（座阀）　　　　　　　FKM（O形圈：标准）　　　　　　　EP...

・抑制微尘的产生/减小占用空间　采用特殊结构，降低阀闭时的冲击。抑制微尘的产生。　减小占用空间（与以前产品相比）：阀宽减小20%，安装间距减小45%。・对应高压/高背压　使用压力：0〜0.5MPa　背...

・低发尘、禁油、无金属。・使用流体：空气、水、脱离子水(纯水)、稀释液、洗净液。・分离构造　隔离密封垫将使用流体区域与电磁驱动部隔离。・简单配管。・防止液体积留。・不需要调节流量。 系列阀形式配管方...

・利用脉冲吹气所形成的峰值压力　实现高效吹气・CO2排放量（空气消耗量）：减少50%・无需任何控制，即可产生脉冲　只需供给空气，就可以进行脉冲吹气！・先导阀内置结构可实现稳定的吹气 系列阀结构切换方...

※VDW10/20系列于2012年12月停产。　请选择NewVDW10/20系列。※VDW30系列于2015年7月停产。　请选择VX21系列。※3通阀VDW200/300仍在销售。 系列阀形式接管口...

・用于空气、中真空、水・阀体材质：Al、树脂（PPS）、C37、SUS・带快换管接头（树脂阀体）・IP65 系列阀形式接管口径孔口直径 VDW10/20N.C.φ3.2，φ4，φ6，...

・3相 AC380～415V(50Hz)、3相 AC460～480V(60Hz)・可利用冷冻回路的排热加热循环液，无需加热器。・可设置于室外：IPX4・体积小、省空间 系列设定温度范围冷却能力温度稳...

・无需加热器，也可通过冷冻回路的排热作用加热循环液・电源可对应欧洲、亚洲、大洋洲、北美、中南美规格・静音设计：70dB（A）・室外设置：IPX4・小型・省空间※提供样机试用服务　请与最近的营业所联系。...

・3相 AC380～415V(50Hz)、3相 AC460～480V(60Hz)・可利用冷冻回路的排热加热循环液，无需加热器。・可设置于室外：IPX4・体积小、省空间 系列设定温度范围冷却能力温度稳...

・无需加热器，也可通过冷冻回路的排热作用加热循环液・电源可对应欧洲、亚洲、大洋洲、北美、中南美规格・静音设计：70dB（A）・室外设置：IPX4・小型・省空间※提供样机试用服务　请与最近的营业所联系。...

对应输出※不同系列适用协议不同。　详情请参照各系列的样本。※NKE（株）的省配线H系统已于2021年2月停产。　请考虑更换为其他网络。 系列防护等级通信协议※适用的阀 EX120IP...

对应输入、输出※不同系列适用协议不同。　详情请参照各系列的样本。 系列防护等级通信协议※适用的阀 EX250IP67DeviceNet™PROFIBUS DPCC-LinkEther...