产品简介：水冷式温控器/高性能型HRW

・与工厂内循环水直接热交换・适合在不需要制冷的范围内温控时使用・具有温度稳定性高、温度范围广、故障诊断、外部通信等丰富功能的装置，　在半导体过程控制装置上成果较多・符合UL、SEMI标准、CE认证・可选择变频型※提供样机试用服务　请与最近的营业所联系　营业所一览 系列设定温度范围冷却能力温度稳定性冷却方式循环液 HRW20～90℃2kW, 8kW15kW, 30kW±0.3℃水冷却式（无压缩机）氟化液清水脱离子水（纯水）乙二醇水溶液（60％）