・波纹管耐久性提升（法兰尺寸100、160）・寿命：200万次・可实现装置的省空间化　无排气方向限制(阀体侧←→波纹管侧 两方向均可)　安装姿势的自由度提升・轻量、紧凑 系列操作方式阀形式轴密封方式...

・对应低GWP冷媒　GWP：146※　　※ Regulation (EU) 2024/573, AIM Act 40 CFR Part 84基准　　EU冷媒管制：GWP 150以上　　美国冷媒管制：G...

・对应低GWP冷媒　GWP：146※ ※ Regulation (EU) 2024/573、AIM Act 40 CFR Part 84标准　　EU冷媒管制：GWP 150以上　　美国冷媒管制：GWP...

・对应低GWP冷媒　GWP：148※　※ IPCC AR4基准　　EU冷媒管制：GWP 150以上　　美国冷媒管制：GWP 700以上　　加利福尼亚州冷媒管制：GWP 750以上・环境对应冷媒R454...

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・与工厂内循环水直接热交换・适合在不需要制冷的范围内温控时使用・具有温度稳定性高、温度范围广、故障诊断、外部通信等丰富功能的装置，　在半导体过程控制装置上成果较多・符合UL、SEMI标准、CE认证・可...

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・无需加热器，也可通过冷冻回路的排热作用加热循环液・电源可对应欧洲、亚洲、大洋洲、北美、中南美规格・静音设计：70dB（A）・室外设置：IPX4・小型・省空间※提供样机试用服务　请与最近的营业所联系。...

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・符合氯乙烯配管的JIS标准（JIS K 6742）・适合流体：脱离子水（纯水）、化学液・接液部材質：PVC（主体）　　　　　　　PTFE（座阀）　　　　　　　FKM（O形圈：标准）　　　　　　　EP...

・最高使用压力：15MPa・小型・轻量：质量 130g(Rc3/8)、210g(Rc1/2)・防止异物附着在主阀周围的结构　采用激光焊接工艺，防止松动 形式系列连接口径最高使用压力 ...

・高速响应：ON时 0.45ms、OFF时 0.4ms(±0.05ms)。・长寿命 50亿次以上。・高频率 1200Hz。・薄型 9mm。・低功耗 4W。 系列流量消耗功率 (W)最高动作频率 (H...