・从计测元件到操作部的配管距离非常长时或操作部的容量较大时使用。・大幅提高操作部的驱动速度。 系列接管口径输入、输出输入输出压力 IL100Rc1/4， 3/81：10.7MPa ...

・采用伺服机构，可稳定且正确地控制气缸位置。・也可用于一般产业机械的气缸位置控制。 系列接管口径供给空气压力 (MPa)输入压力 (MPa) IP200Rc1/40.3～0.70.0...

・防止粗抽泵(回转泵)的油逆向流入腔室。・大气开放阀一体结构减少作业工时。 系列操作方式阀形式轴密封方式法兰尺寸 XLJ电磁式常闭、真空先导O形圈密封25、40 ...

・不滞留气体的精密铸造一体结构・与铝制高真空L型阀XL系列有安装互换性（XM系列）注）直线型无尺寸16。 系列操作方式轴密封方式阀形式材质法兰尺寸 XMA/XYA气控式波纹管密封单作...

・快速装卸（无需工具）。 系列操作方式轴密封方式阀形式材质法兰尺寸 XLAQ气控式波纹管密封单作用（N.C.）主体：铝波纹管：SUS316L16～50 XLDQ气控式...

・耐氟性强・气体溢出少・重金属污染小※法兰尺寸16〜80的XLA/C/F/G已进行了产品变更。　 请选择XLA-2/XLC-2/XLF-2/XLG-2系列。 系列操作方式阀形式轴密封方式用途法兰尺寸...

・波纹管耐久性提升（法兰尺寸100、160）・寿命：200万次・可实现装置的省空间化　无排气方向限制(阀体侧←→波纹管侧 两方向均可)　安装姿势的自由度提升・轻量、紧凑 系列操作方式阀形式轴密封方式...

・采用铝制主体　均一的烤焙温度　轻量·紧凑　气体溢出少　重金属污染少・可更换波纹管 系列操作方式阀形式轴密封方式用途法兰尺寸 XLA-2气控式单作用（N.C.）波纹管密封无尘清洁化1...

・无含氟气体・采用CO2冷媒・GWP大幅削减・GWP＝1 可对应各国的冷媒法规　EU冷媒管制 ：GWP150以上　美国冷媒管制 ：GWP700以上　加利福尼亚州冷媒管制 ：GWP750以上　※GWP表...

・对应低GWP冷媒　GWP：146※　　※ Regulation (EU) 2024/573, AIM Act 40 CFR Part 84基准　　EU冷媒管制：GWP 150以上　　美国冷媒管制：G...

・对应低GWP冷媒　GWP：148※　※ IPCC AR4标准　　EU冷媒管制：GWP 150以上　　美国冷媒管制：GWP 700以上　　加利福尼亚州冷媒管制：GWP 750以上・环境对应冷媒R454...

・1台温控器可对2个系统分别控制・省空间/省配线　设置面积减小21%　电源系统：只需1个・节能　消耗功率降低17% 系列设定温度范围冷却能力（通道1,、2总共）温度稳定性冷却方式循环液 ...

・对应低GWP冷媒　GWP：146※　　※ Regulation (EU) 2024/573, AIM Act 40 CFR Part 84基准　　EU冷媒管制：GWP 150以上　　美国冷媒管制：G...

・3相 AC380～415V(50Hz)、3相 AC460～480V(60Hz)・可利用冷冻回路的排热加热循环液，无需加热器。・可设置于室外：IPX4・体积小、省空间 系列设定温度范围冷却能力温度稳...

・对应低GWP冷媒　GWP：148※　※ IPCC AR4标准　　EU冷媒管制：GWP 150以上　　美国冷媒管制：GWP 700以上　　加利福尼亚州冷媒管制：GWP 750以上・环境对应冷媒R454...

・对应低温／－10℃・紧凑：与HRS040尺寸相同・冷却能力：1kW(－10℃时)・温度稳定性：±0.1℃・设定温度范围：－10℃～40℃ 系列设定温度范围冷却能力温度稳定性冷却方式循环液 ...

・1台温控器可对2个系统分别控制・省空间/省配线　设置面积减小21%　电源系统：只需1个・节能　消耗功率降低17% 系列设定温度范围冷却能力（通道1,、2总共）温度稳定性冷却方式循环液 ...

・对应低GWP冷媒　GWP：146※　　※ Regulation (EU) 2024/573, AIM Act 40 CFR Part 84基准　　EU冷媒管制：GWP 150以上　　美国冷媒管制：G...

・1台温控器可对2个系统单独温控・省空间/省配线　安装面积削减22%　电源系统：1个系统即可・节能　节能 消耗功率削减30%・采用触摸屏・电源：三相AC200V（50Hz）　　　　三相AC200～23...

・可空运・采用CO2冷媒（R744）・大幅削减GWP・无需氟利昂的回收、废弃处理・无需根据日本的氟利昂排放控制法，进行定期检查。※提供样机试用服务　请与最近的营业所联系　营业所一览 系列设定温度范围...