・阀和针阀一体化的结构，配管空间减少1/4（与以前产品相比）・密封部采用金属膜片，微粒大幅减少・可同时对初期供气、主供气进行流量调整 系列阀形式使用流体配管连接方式配管尺寸 XVD常...

・最低使用压力：1×10-6Pa(abs)・泄漏量：内部1.3×10-9Pa・m3/s、外部1.3×10-11Pa・m3/s・备有2种接头、内螺纹・消耗功率：最大减少25%・重量：最大减轻18%　0....

・不滞留气体的精密铸造一体结构・与铝制高真空L型阀XL系列有安装互换性（XM系列）注）直线型无尺寸16。 系列操作方式轴密封方式阀形式材质法兰尺寸 XMA/XYA气控式波纹管密封单作...

・快速装卸（无需工具）。 系列操作方式轴密封方式阀形式材质法兰尺寸 XLAQ气控式波纹管密封单作用（N.C.）主体：铝波纹管：SUS316L16～50 XLDQ气控式...

・耐氟性强・气体溢出少・重金属污染小※法兰尺寸16〜80的XLA/C/F/G已进行了产品变更。　 请选择XLA-2/XLC-2/XLF-2/XLG-2系列。 系列操作方式阀形式轴密封方式用途法兰尺寸...

・波纹管耐久性提升（法兰尺寸100、160）・寿命：200万次・可实现装置的省空间化　无排气方向限制(阀体侧←→波纹管侧 两方向均可)　安装姿势的自由度提升・轻量、紧凑 系列操作方式阀形式轴密封方式...

・采用铝制主体　均一的烤焙温度　轻量·紧凑　气体溢出少　重金属污染少・可更换波纹管 系列操作方式阀形式轴密封方式用途法兰尺寸 XLA-2气控式单作用（N.C.）波纹管密封无尘清洁化1...

［单向阀］・背压可防止流体的逆流。・结构简单，内部的可动零部件仅限O形圈。・采用无弹簧的结构，可减少因震颤等产生的颗粒，并降低下游侧的压力变动。［真空发生器］・真空发生器・更换钢瓶时，用于排出配管中残...

・用于半导体等需要高洁净度气体的行业。・可作为气体的切断阀使用。・接触气体部分无弹簧，驱动部也使用膜片隔离，因此减小了气路的死区，抑制了粒子的产生。 系列名称形式主体材质 AP高纯度...

・适合半导体等需要供给高洁净度气体的行业。・主体材质为SUS316L二次熔炼或SUS316L。・接触气体部分经过电解研磨处理。・外部金属密封构造。 系列形式用途主体材质 AP高纯度工...

・稳定供给经过调温· 调压的干燥洁净空气　不论任何季节，均可供给同等条件和质量的压缩空气・应用示例：　向机床的空气轴承等供给一定条件的压缩空气・内置过滤器　过滤精度：0.01μm（99.9％捕捉效率）...

・使用珀尔帖元件的小型温控器・用于局部温控或小容量的温控 系列设定温度范围冷却能力温度稳定性冷却方式适合流体 HEA0～50℃22W±0.1℃珀尔帖式风冷空气 ...

・使用珀尔帖元件的化学液直接温控用热交换器・氟树脂热交换器，故可对应多种化学液・符合CE认证 系列设定温度范围冷却能力温度稳定性冷却方式循环液 HED10～60℃300W500W75...

・使用珀尔帖元件的高精度温控恒温槽・小型、低噪音・独特的搅拌方式，故上下温度分布均匀 系列设定温度范围最大冷却能力温度稳定性冷却方式循环液 INR-244-696A-15～60℃28...

・使用珀尔帖元件的高精度温控恒温槽。・小型、低噪音。・独特的搅拌方式，上下温度均匀。※提供样机试用服务。　请与最近的营业所联系。　营业所一览 系列设定温度范围冷却能力温度稳定性冷却方式循环液 ...

・小型、省空间・无氟・静音设计：45dBA（选择可选项时）・接触液体部分材质：不锈钢、树脂（不使用铝、铜类材质）紧凑型温控器／INR-244-831将于2023年12月停止生产请选择紧凑型温控器／HE...

・小型、省空间・无氟・静音设计：45dBA（选择了可选项时）・冷却能力：150W・温度稳定性：±0.01～0.03℃・设定温度范围：4℃～60℃・接触液体部分材质：不锈钢、树脂（不使用铝、铜系材质） ...

・小型：130mm(宽)×210mm(高)×150mm(纵深)・静音设计（低负载时）：37dB・冷却能力：220W・温度稳定性：±0.1℃・设定温度范围：10℃～60℃・优异的温度控制　10℃的温度変...

・可用于高精度温控的场合・使用珀尔帖元件的无氟高精度温控器・结构简单、可靠性高・小型、低振动，故组装在装置内很容易・可对应广泛的电源电压・符合UL标准、CE认证※提供样机试用服务。　请与最近的营业所联...

・空间利用率高：可安装在19英寸机架上　可将多台温控器安装到1个机架上，可节省空间。・温度稳定性：±0.01℃～0.03℃・设定温度范围：10℃～60℃・冷却能力：200W、400W、510W、800...