・用于半导体等需要高洁净度气体的行业。・可作为气体的切断阀使用。・接触气体部分无弹簧，驱动部也使用膜片隔离，因此减小了气路的死区，抑制了粒子的产生。 系列名称形式主体材质 AP高纯度...