・1台深冷器可分别控制2个系統・双变频器：DC变频冷冻机与变频泵实现了大幅节能・省空间：设置面积减小23％・省配线、省空间、省工时：电源线缆只有1根，冷却水配管仅有1个系統・符合SEMI规格、CE标识...

・3相 AC380～415V(50Hz)、3相 AC460～480V(60Hz)・可利用冷冻回路的排热加热循环液，无需加热器。・可设置于室外：IPX4・体积小、省空间 系列设定温度范围冷却能力温度稳...

・对应EtherCAT、EtherNet/IP™、PROFINET、DeviceNet®、　IO-Link、CC-Link・对应2种动作指令方法　步序号指令运转、数值指令运转・通信电缆可连续配线・对应...

・对应EtherCAT、EtherNet/IP™、PROFINET、DeviceNet®、　IO-Link、CC-Link・对应2种动作指令方法　步序号指令运转、数值指令运转・通信电缆可连续配线・对应...

・20A 系列追加微压范围 [New]・追加M12插头型・追加微压范围・R1/8接头一体型 配线下引出规格・设定项目可视化・简单3步设定・画面切换简单　可边看当前测量值边进行设定・延迟时间：最快1.5...

・快速除静电最快0.1秒・省空间 高70mm×宽28mm　紧凑・扁平主体　可安装在狭小空间内・对应通信协议IO-Link・低维护率的电极针卡盒　集中电极针周围的空气（减少电极针污染）和辅助空气（离子输...

・对应EtherCAT、EtherNet/IP™、PROFINET、DeviceNet®、　IO-Link、CC-Link・对应2种动作指令方法　步序号指令运转、数值指令运转・通信电缆可连续配线・对应...

・对应EtherCAT、EtherNet/IP™、PROFINET、DeviceNet®、　IO-Link、CC-Link・对应2种动作指令方法　步序号指令运转、数值指令运转・通信电缆可连续配线・对应...

・对应EtherCAT、EtherNet/IP™、PROFINET、DeviceNet®、　IO-Link、CC-Link・对应2种动作指令方法　步序号指令运转、数值指令运转・通信电缆可连续配线・对应...

・检测工件的带电电位，输出模拟电压。 系列测定电位输出电压有效检测距离 IZD10-110±0.4kV（检测距离25mm时）1～5V（输出阻抗 约100Ω）10～50mm ...

・除静电时间0.3秒。・有3种传感器可选。・反馈传感器可实现高速除静电。・自动平衡传感器可控制偏置电压。・高精度型：正确控制工件位置的偏置电压。・本体安装型：检测接地电流，可安装在静电消除器本体上使用...

・因采用双AC方式可降低电位振幅，电位振幅25V以下（安装高度300mm时）・利用反馈传感器快速除静电・利用自动平衡传感器削减调整工时和维护工时・操作简单：只要接通电源就可使用（标准型）・可远距离设定...

・检测工件的带电电位，输出模拟电压。 系列测定电位输出电压有效检测距离 IZD10-110±0.4kV（检测距离25mm时）1～5V（输出阻抗 约100Ω）10～50mm ...

・除静电时间0.3秒。・有3种传感器可选。・反馈传感器可实现高速除静电。・自动平衡传感器可控制偏置电压。・高精度型：正确控制工件位置的偏置电压。・本体安装型：检测接地电流，可安装在静电消除器本体上使用...

・因采用双AC方式可降低电位振幅，电位振幅25V以下（安装高度300mm时）・利用反馈传感器快速除静电・利用自动平衡传感器削减调整工时和维护工时・操作简单：只要接通电源就可使用（标准型）・可远距离设定...

・快速除静电最快0.1秒・省空间 高70mm×宽28mm　紧凑・扁平主体　可安装在狭小空间内・对应通信协议IO-Link・低维护率的电极针卡盒　集中电极针周围的空气（减少电极针污染）和辅助空气（离子输...

・额定控制流量范围：追加200～2000L/min New・可自动调整流量・干燥空气、N₂・控制精度：±5%F.S.・响应性：0.5s以下・省空间／配管／配线／导入工时・可选择润滑脂　对应低露点润滑脂...

・主体传感器：NewPFA，管子：SuperPFA・低发尘、优秀的置换特性・4通道显示器　1台控制器可对4个流量范围进行管理　　数字式开关设定系统详情： 系列额定流量范围（L/min） ...

・在压力计上添加了压力开关的功能。 系列大小（外径）连接螺纹 GP46φ42.5R1/8，1/4 ...

・可安装于真空发生器系统ZM系列。 系列种类设定压力范围 ZSM1真空压－27～－80kPa ...