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・低发尘、禁油、无金属。・使用流体：空气、水、脱离子水(纯水)、稀释液、洗净液。・分离构造　隔离密封垫将使用流体区域与电磁驱动部隔离。・简单配管。・防止液体积留。・不需要调节流量。 系列阀形式配管方...

・低发尘、禁油、无金属　※接触液体部分・分离构造　膜片将使用流体区域与电磁头驱动部分隔离开・消耗功率：1.0W以下（带节电回路）・容积变化量（抽取量）：0.01μL以下 系列阀构造阀形式使用压力范围...