・1台深冷器可分别控制2个系統・双变频器：DC变频冷冻机与变频泵实现了大幅节能・省空间：设置面积减小23％・省配线、省空间、省工时：电源线缆只有1根，冷却水配管仅有1个系統・符合SEMI规格、CE标识...

・无需加热器，也可通过冷冻回路的排热作用加热循环液・电源可对应欧洲、亚洲、大洋洲、北美、中南美规格・静音设计：70dB（A）・室外设置：IPX4・小型・省空间※提供样机试用服务　请与最近的营业所联系。...

・1台深冷器可分别控制2个系統・双变频器：DC变频冷冻机与变频泵实现了大幅节能・省空间：设置面积减小23％・省配线、省空间、省工时：电源线缆只有1根，冷却水配管仅有1个系統・符合SEMI规格、CE标识...

・无需加热器，也可通过冷冻回路的排热作用加热循环液・电源可对应欧洲、亚洲、大洋洲、北美、中南美规格・静音设计：70dB（A）・室外设置：IPX4・小型・省空间※提供样机试用服务　请与最近的营业所联系。...

对应输入、输出※不同系列适用协议不同。　详情请参照各系列的样本。 系列防护等级通信协议※适用的阀 EX250IP67DeviceNet™PROFIBUS DPCC-LinkEther...

・对应EtherCAT、EtherNet/IP™、PROFINET、DeviceNet®、　IO-Link、CC-Link・对应2种动作指令方法　步序号指令运转、数值指令运转・通信电缆可连续配线・对应...

・对应EtherCAT、EtherNet/IP™、PROFINET、DeviceNet®、　IO-Link、CC-Link・对应2种动作指令方法　步序号指令运转、数值指令运转・通信电缆可连续配线・对应...

对应输入、输出※不同系列适用协议不同。　详情请参照各系列的样本。 系列防护等级通信协议※适用的阀 EX250IP67DeviceNet™PROFIBUS DPCC-LinkEther...

对应输入、输出，网关型※不同系列适用协议不同。　详情请参照各系列的样本。※EX500-GDN1系列于2021年3月停止生产。　请选择EX260-SDN、EX600-SDN。 系列防护等级通信协议※适...

对应输入、输出，网关型※不同系列适用协议不同。　详情请参照各系列的样本。※EX500-GDN1系列于2021年3月停止生产。　请选择EX260-SDN、EX600-SDN。 系列防护等级通信协议※适...

・对应EtherCAT、EtherNet/IP™、PROFINET、DeviceNet®、　IO-Link、CC-Link・对应2种动作指令方法　步序号指令运转、数值指令运转・通信电缆可连续配线・对应...

・对应EtherCAT、EtherNet/IP™、PROFINET、DeviceNet®、　IO-Link、CC-Link・对应2种动作指令方法　步序号指令运转、数值指令运转・通信电缆可连续配线・对应...

对应输入、输出，网关型※不同系列适用协议不同。　详情请参照各系列的样本。※EX500-GDN1系列于2021年3月停止生产。　请选择EX260-SDN、EX600-SDN。 系列防护等级通信协议※适...

对应输入、输出※不同系列适用协议不同。　详情请参照各系列的样本。 系列防护等级通信协议※适用的阀 EX250IP67DeviceNet™PROFIBUS DPCC-LinkEther...

・对应EtherCAT、EtherNet/IP™、PROFINET、DeviceNet®、　IO-Link、CC-Link・对应2种动作指令方法　步序号指令运转、数值指令运转・通信电缆可连续配线・对应...

对应输入、输出，网关型※不同系列适用协议不同。　详情请参照各系列的样本。※EX500-GDN1系列于2021年3月停止生产。　请选择EX260-SDN、EX600-SDN。 系列防护等级通信协议※适...

・检测工件的带电电位，输出模拟电压。 系列测定电位输出电压有效检测距离 IZD10-110±0.4kV（检测距离25mm时）1～5V（输出阻抗 约100Ω）10～50mm ...

・检测工件的带电电位，输出模拟电压。 系列测定电位输出电压有效检测距离 IZD10-110±0.4kV（检测距离25mm时）1～5V（输出阻抗 约100Ω）10～50mm ...

・额定控制流量范围：追加200～2000L/min New・可自动调整流量・干燥空气、N₂・控制精度：±5%F.S.・响应性：0.5s以下・省空间／配管／配线／导入工时・可选择润滑脂　对应低露点润滑脂...

・主体传感器：NewPFA，管子：SuperPFA・低发尘、优秀的置换特性・4通道显示器　1台控制器可对4个流量范围进行管理　　数字式开关设定系统详情： 系列额定流量范围（L/min） ...