・用于空气、中真空、水・阀体材质：Al、树脂（PPS）、C37、SUS・带快换管接头（树脂阀体）・IP65 系列阀形式接管口径孔口直径 VDW10/20N.C.φ3.2，φ4，φ6，...

・用于水蒸汽的控制。・采用PTFE密封。・带指示灯（可选项）。・气控型。 系列阀形式接管口径孔口直径（mmφ） VNDN.C.／N.O.1/8～21 1/4B～2B7～50 ...

・用于空气、水、高温水、油・高温油・阀体材质：Al、树脂、C37、SUS、CAC408・带快换管接头（树脂阀体）・IP65 系列阀形式接管口径孔口直径（mmφ） VXDN.C.／N....

・1台深冷器可分别控制2个系統・双变频器：DC变频冷冻机与变频泵实现了大幅节能・省空间：设置面积减小23％・省配线、省空间、省工时：电源线缆只有1根，冷却水配管仅有1个系統・符合SEMI规格、CE标识...

・无需加热器，也可通过冷冻回路的排热作用加热循环液・电源可对应欧洲、亚洲、大洋洲、北美、中南美规格・静音设计：70dB（A）・室外设置：IPX4・小型・省空间※提供样机试用服务　请与最近的营业所联系。...

・1台深冷器可分别控制2个系統・双变频器：DC变频冷冻机与变频泵实现了大幅节能・省空间：设置面积减小23％・省配线、省空间、省工时：电源线缆只有1根，冷却水配管仅有1个系統・符合SEMI规格、CE标识...

・无需加热器，也可通过冷冻回路的排热作用加热循环液・电源可对应欧洲、亚洲、大洋洲、北美、中南美规格・静音设计：70dB（A）・室外设置：IPX4・小型・省空间※提供样机试用服务　请与最近的营业所联系。...

・可进行位置控制、速度控制和力矩控制。・控制编码器：绝对增量型20bit编码器。　（分辨率 1,048,576脉冲／回转）・适合现场总线：MECHATROLINK-Ⅱ、MECHATROLINK-Ⅲ※点...

对应输入、输出※不同系列适用协议不同。　详情请参照各系列的样本。 系列防护等级通信协议※适用的阀 EX250IP67DeviceNet™PROFIBUS DPCC-LinkEther...

・对应EtherCAT、EtherNet/IP™、PROFINET、DeviceNet®、　IO-Link、CC-Link・对应2种动作指令方法　步序号指令运转、数值指令运转・通信电缆可连续配线・对应...

・对应EtherCAT、EtherNet/IP™、PROFINET、DeviceNet®、　IO-Link、CC-Link・对应2种动作指令方法　步序号指令运转、数值指令运转・通信电缆可连续配线・对应...

对应输入、输出※不同系列适用协议不同。　详情请参照各系列的样本。 系列防护等级通信协议※适用的阀 EX250IP67DeviceNet™PROFIBUS DPCC-LinkEther...

对应输入、输出，网关型※不同系列适用协议不同。　详情请参照各系列的样本。※EX500-GDN1系列于2021年3月停止生产。　请选择EX260-SDN、EX600-SDN。 系列防护等级通信协议※适...

对应输入、输出，网关型※不同系列适用协议不同。　详情请参照各系列的样本。※EX500-GDN1系列于2021年3月停止生产。　请选择EX260-SDN、EX600-SDN。 系列防护等级通信协议※适...

・可进行位置控制、速度控制和力矩控制。・控制编码器：绝对增量型20bit编码器。　（分辨率 1,048,576脉冲／回转）・适合现场总线：MECHATROLINK-Ⅱ、MECHATROLINK-Ⅲ※点...

・对应EtherCAT、EtherNet/IP™、PROFINET、DeviceNet®、　IO-Link、CC-Link・对应2种动作指令方法　步序号指令运转、数值指令运转・通信电缆可连续配线・对应...

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对应输入、输出，网关型※不同系列适用协议不同。　详情请参照各系列的样本。※EX500-GDN1系列于2021年3月停止生产。　请选择EX260-SDN、EX600-SDN。 系列防护等级通信协议※适...

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・对应EtherCAT、EtherNet/IP™、PROFINET、DeviceNet®、　IO-Link、CC-Link・对应2种动作指令方法　步序号指令运转、数值指令运转・通信电缆可连续配线・对应...