・可在洁净室内(洁净度等级4：ISO14644-1)内直接排气！　安装于洁净室内的气动元件即可直接排气。・排除空气、释放空气无配管化。减小配管空间、削减配管工时。・消音效果：30dB(A)以上。・有快...

・内置中空类滤芯・压降：0.03MPa（1次压0.7MPa、最大流量时）・减少了污染环境的化学物质，符合RoHS・金属壳体型(订制)　不锈钢壳体、铝制壳体 系列种类额定流量 L/min (ANR)(...

・采用可更换滤芯的夹头型。　(SFA100・200・300，SFB100)・半导体工艺用的小型一次性过滤器。　(SFB300，SFC100) 形式系列使用压力过滤精度 夹头型圆盘式S...