・对空气压力进行与电气信号成比例的无级控制・最高供给压力：5.0MPa・设定压力范围：0.01~3.0MPa・最大流量：3,000L/min（ANR）・使用流体：空气,N2,O2,Ar・接触流体部：使...

・提高了1MPa以下的精度　重复性±0.5%F.S.以下　压力稳定性0.5%F.S.以下・最高供给压力：5.0MPa・设定压力范围：0.01～3.0MPa・最大流量：3000L/min（ANR）・使用...

・对空气压力进行与电气信号成比例的无级控制・最高供给压力：5.0MPa・设定压力范围：0.01~3.0MPa・最大流量：3,000L/min（ANR）・使用流体：空气,N2,O2,Ar・接触流体部：使...