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・采用可更换滤芯的夹头型。 (SFA100・200・300,SFB100)・半导体工艺用的小型一次性过滤器。 (SFB300,SFC100) 形式系列使用压力过滤精度 夹头型圆盘式S...
・用作薄片、玻璃基板、柔软工件等的吸附固定。 通过分布于吸板吸附面上的大量小孔吸附工件,工件不会产生变形。・加工精度高。・吸附力大。 系列外形吸附部尺寸烧结金属滤芯粒径吸附口 SP长...