对应输入、输出※不同系列适用协议不同。　详情请参照各系列的样本。※EX600-SPN1/SPN2已于2023年10月停产。　请选择EX600-SPN3/SPN4。 系列防护等级通信协议※适用的阀 ...

・无含氟气体・采用CO2冷媒・GWP大幅削减・GWP＝1 可对应各国的冷媒法规　EU冷媒管制 ：GWP150以上　美国冷媒管制 ：GWP700以上　加利福尼亚州冷媒管制 ：GWP750以上　※GWP表...

・与工厂内循环水直接热交换・适合在不需要制冷的范围内温控时使用・具有温度稳定性高、温度范围广、故障诊断、外部通信等丰富功能的装置，　在半导体过程控制装置上成果较多・符合UL、SEMI标准、CE认证・可...

・温度稳定性高、温度范围大、有故障诊断、外部通信等功能，广泛用于半导体行业・符合各种安全规格・符合UL, SEMI规格以及CE标识※提供样机试用服务　请与最近的营业所联系　营业所一览 シリーズ设定温...

对应输入、输出※不同系列适用协议不同。　详情请参照各系列的样本。 系列防护等级通信协议※适用的阀 EX250IP67DeviceNet™PROFIBUS DPCC-LinkEther...

对应输入、输出，网关型※不同系列适用协议不同。　详情请参照各系列的样本。※EX500-GDN1系列于2021年3月停止生产。　请选择EX260-SDN、EX600-SDN。 系列防护等级通信协议※适...

对应输入、输出※不同系列适用协议不同。　详情请参照各系列的样本。※EX600-SPN1/SPN2已于2023年10月停产。　请选择EX600-SPN3/SPN4。 系列防护等级通信协议※适用的阀 ...

对应输入、输出，网关型※不同系列适用协议不同。　详情请参照各系列的样本。※EX500-GDN1系列于2021年3月停止生产。　请选择EX260-SDN、EX600-SDN。 系列防护等级通信协议※适...

对应输入、输出※不同系列适用协议不同。　详情请参照各系列的样本。※EX600-SPN1/SPN2已于2023年10月停产。　请选择EX600-SPN3/SPN4。 系列防护等级通信协议※适用的阀 ...

・追加隔板型真空发生器的高效消音型消声器[New]・追加破坏流量调整单元・集多功能于一体的紧凑型集装阀　元件一体化设计，用于同时使用执行器和真空吸附的应用・对应EtherCAT®、IO-Link [N...

・阀位数/输出点数：对应4～64位※/128点　※阀位数为4的倍数。・有助于节省空间、减少 SI 单元的数量、减少配线和工时。 系列流量特性4/2→3/5（A/B→E）C［dm3/（s・bar）］流...

・根据执行器的行程位置，输出过程数据・1个开关最多可识别3个位置　可识别分辨率：±0.1mm　※在高分辨率范围内・可在远离执行器的地方设置检测位置・过程数据输出（-1000～1000）　有IO-Lin...

・适合流体：空气、, N2・流量范围：最大12,000L/min・流量范围比 100:1　1台即可测量广泛的流量范围・耐冷凝水、耐异物能力提高・压力损失降低75%（20kPa→5kPa）・贯通构造・对...

・最多可连接4个压力传感器！　集中管理，减小设置空间　1台显示器可管理不同用途的传感器・可边观察测定值边进行设定・对应IO-Link 系列设定压力范围适合压力传感器 PSE200A−...

・可用于以前型号的无线系统・小型、轻量化　面积：约减小61%※(59.8cm2←155cm2)　体积：约减小86%※(159cm3←1,139cm3)　质量：约减轻87%※(130g←965ｇ）　※e...

对应输入、输出※不同系列适用协议不同。　详情请参照各系列的样本。※EX600-SPN1/SPN2已于2023年10月停产。　请选择EX600-SPN3/SPN4。 系列防护等级通信协议※适用的阀 ...

・IO-Link版本 V1.1・过程数据长度 输入32字节／输出32字节 (每1个接口)・IO-Link接口类型 Class A　▶IO-Link设备 系列接口数适合上位通信 EX6...

・可进行位置控制、速度控制和力矩控制。・控制编码器：绝对增量型20bit编码器。　（分辨率 1,048,576脉冲／回转）・适合现场总线：MECHATROLINK-Ⅱ、MECHATROLINK-Ⅲ※点...

・小型 EXW1系列追加模拟输入[New]・抗干扰性　在2.4GHz ISM电波频率范围内使用　采用最快每2ms电波自动跳频技术・无需通信电缆　削减配线工时·空间·成本　降低断线风险・实现工厂自动化环...

对应输入、输出※不同系列适用协议不同。　详情请参照各系列的样本。※EX600-SPN1/SPN2已于2023年10月停产。　请选择EX600-SPN3/SPN4。 系列防护等级通信协议※适用的阀 ...