・接口面符合NAMUR规格。　可直接设置于符合NAMUR规格的工业用阀门执行器。 系列流量特性4/2→5/3（A/B→EA/EB）C流量特性4/2→5/3（A/B→EA/EB）b流量特性4/2→5/...

・根据输入信号（空气压）按比例定位气缸。 ・带修正动作功能：即使因负载变动而发生位置偏离，也可回到初始位置。 系列缸径行程(mm)空气连接口径供给压力(MPa)输入压力(MPa) ...

・空气式过程控制系统中，空气源或供给空气配管系统发生异常时使用。　单作用型、双作用型：空气源回归正常状态前，应急保持操作部的位置。　三通口型： 发生异常时切换供给通口。 系列接管口径设定压力 (MP...

・SUS316规格＆特殊温度环境（－40℃）规格。・外部使用部件材质：SUS316。・环境及使用流体温度：－40～80℃。・符合NACE国际规格。 系列接管口径设定压力(MPa)过滤精度（μm） ...

・耐特殊温度环境　将密封圈和树脂部件变更为特殊材料，以适于在寒冷地区或热带地区等特殊环境条件下使用。 系列环境接管口径设定压力(MPa)过滤精度 AW30-2～AW60-2-X430...

・采用伺服机构，可稳定且正确地控制气缸位置。・也可用于一般产业机械的气缸位置控制。 系列接管口径供给空气压力 (MPa)输入压力 (MPa) IP200Rc1/40.3～0.70.0...

［单向阀］・背压可防止流体的逆流。・结构简单，内部的可动零部件仅限O形圈。・采用无弹簧的结构，可减少因震颤等产生的颗粒，并降低下游侧的压力变动。［真空发生器］・真空发生器・更换钢瓶时，用于排出配管中残...

・用于半导体等需要高洁净度气体的行业。・可作为气体的切断阀使用。・接触气体部分无弹簧，驱动部也使用膜片隔离，因此减小了气路的死区，抑制了粒子的产生。 系列名称形式主体材质 AP高纯度...

・适合半导体等需要供给高洁净度气体的行业。・主体材质为SUS316L二次熔炼或SUS316L。・接触气体部分经过电解研磨处理。・外部金属密封构造。 系列形式用途主体材质 AP高纯度工...

・对应低GWP冷媒　GWP：148※　※ IPCC AR4标准　　EU冷媒管制：GWP 150以上　　美国冷媒管制：GWP 700以上　　加利福尼亚州冷媒管制：GWP 750以上・环境对应冷媒R454...

・3相 AC380～415V(50Hz)、3相 AC460～480V(60Hz)・可利用冷冻回路的排热加热循环液，无需加热器。・可设置于室外：IPX4・体积小、省空间 系列设定温度范围冷却能力温度稳...

・对应低GWP冷媒　GWP：148※　※ IPCC AR4标准　　EU冷媒管制：GWP 150以上　　美国冷媒管制：GWP 700以上　　加利福尼亚州冷媒管制：GWP 750以上・环境对应冷媒R454...

・对应低温／－10℃・紧凑：与HRS040尺寸相同・冷却能力：1kW(－10℃时)・温度稳定性：±0.1℃・设定温度范围：－10℃～40℃ 系列设定温度范围冷却能力温度稳定性冷却方式循环液 ...

・可空运・采用CO2冷媒（R744）・大幅削减GWP・无需氟利昂的回收、废弃处理・无需根据日本的氟利昂排放控制法，进行定期检查。※提供样机试用服务　请与最近的营业所联系　营业所一览 系列设定温度范围...

・3相 AC380～415V(50Hz)、3相 AC460～480V(60Hz)・可利用冷冻回路的排热加热循环液，无需加热器。・可设置于室外：IPX4・体积小、省空间 系列设定温度范围冷却能力温度稳...

・对应低GWP冷媒　GWP：148※　※ IPCC AR4标准　　EU冷媒管制：GWP 150以上　　美国冷媒管制：GWP 700以上　　加利福尼亚州冷媒管制：GWP 750以上・环境对应冷媒R454...

・对应低温／－10℃・紧凑：与HRS040尺寸相同・冷却能力：1kW(－10℃时)・温度稳定性：±0.1℃・设定温度范围：－10℃～40℃ 系列设定温度范围冷却能力温度稳定性冷却方式循环液 ...

・抑制微尘的产生/减小占用空间　采用特殊结构，降低阀闭时的冲击。抑制微尘的产生。　减小占用空间（与以前产品相比）：阀宽减小20%，安装间距减小45%。・对应高压/高背压　使用压力：0〜0.5MPa　背...

・最高使用压力：15MPa・小型・轻量：质量 130g(Rc3/8)、210g(Rc1/2)・防止异物附着在主阀周围的结构　采用激光焊接工艺，防止松动 形式系列连接口径最高使用压力 ...

・适合半导体等需要供给高洁净度气体的行业。・主体材质为SUS316L二次熔炼或SUS316L。・接触气体部分经过电解研磨处理。・外部金属密封构造。 系列形式用途主体材质 AP高纯度工...