・长寿命：300万次（常温时）・发尘量：减少1/5以下（与以前产品相比）・维护性提高　容易更换波纹管　可通过顶部拆装门（订制）・安全对策　采用机械式端锁机构 系列使用环境压力（Pa）使用流体开口窗尺...

・阀和针阀一体化的结构，配管空间减少1/4（与以前产品相比）・密封部采用金属膜片，微粒大幅减少・可同时对初期供气、主供气进行流量调整 系列阀形式使用流体配管连接方式配管尺寸 XVD常...

・快速装卸（无需工具）。 系列操作方式轴密封方式阀形式材质法兰尺寸 XLAQ气控式波纹管密封单作用（N.C.）主体：铝波纹管：SUS316L16～50 XLDQ气控式...

・波纹管耐久性提升（法兰尺寸100、160）・寿命：200万次・可实现装置的省空间化　无排气方向限制(阀体侧←→波纹管侧 两方向均可)　安装姿势的自由度提升・轻量、紧凑 系列操作方式阀形式轴密封方式...

［单向阀］・背压可防止流体的逆流。・结构简单，内部的可动零部件仅限O形圈。・采用无弹簧的结构，可减少因震颤等产生的颗粒，并降低下游侧的压力变动。［真空发生器］・真空发生器・更换钢瓶时，用于排出配管中残...

・用于半导体等需要高洁净度气体的行业。・可作为气体的切断阀使用。・接触气体部分无弹簧，驱动部也使用膜片隔离，因此减小了气路的死区，抑制了粒子的产生。 系列名称形式主体材质 AP高纯度...

・适合半导体等需要供给高洁净度气体的行业。・主体材质为SUS316L二次熔炼或SUS316L。・接触气体部分经过电解研磨处理。・外部金属密封构造。 系列形式用途主体材质 AP高纯度工...

・稳定供给经过调温· 调压的干燥洁净空气　不论任何季节，均可供给同等条件和质量的压缩空气・应用示例：　向机床的空气轴承等供给一定条件的压缩空气・内置过滤器　过滤精度：0.01μm（99.9％捕捉效率）...

・使用珀尔帖元件的化学液直接温控用热交换器・氟树脂热交换器，故可对应多种化学液・符合CE认证 系列设定温度范围冷却能力温度稳定性冷却方式循环液 HED10～60℃300W500W75...

・对应低GWP冷媒　GWP：148※　※ IPCC AR4标准　　EU冷媒管制：GWP 150以上　　美国冷媒管制：GWP 700以上　　加利福尼亚州冷媒管制：GWP 750以上・环境对应冷媒R454...

・1台深冷器可分别控制2个系統・双变频器：DC变频冷冻机与变频泵实现了大幅节能・省空间：设置面积减小23％・省配线、省空间、省工时：电源线缆只有1根，冷却水配管仅有1个系統・符合SEMI规格、CE标识...

・冷却能力：38kW・电源：3相 380～415V（50Hz/60Hz）　　　　3相 460～480V（60Hz）・设定温度范围：5～35℃・最高使用环境温度：45℃・温度稳定性：±0.1℃・带加热功...

・3相 AC380～415V(50Hz)、3相 AC460～480V(60Hz)・可利用冷冻回路的排热加热循环液，无需加热器。・可设置于室外：IPX4・体积小、省空间 系列设定温度范围冷却能力温度稳...

・对应低GWP冷媒　GWP：148※　※ IPCC AR4标准　　EU冷媒管制：GWP 150以上　　美国冷媒管制：GWP 700以上　　加利福尼亚州冷媒管制：GWP 750以上・环境对应冷媒R454...

・无需加热器，也可通过冷冻回路的排热作用加热循环液・电源可对应欧洲、亚洲、大洋洲、北美、中南美规格・静音设计：70dB（A）・室外设置：IPX4・小型・省空间※提供样机试用服务　请与最近的营业所联系。...

・可空运・采用CO2冷媒（R744）・大幅削减GWP・无需氟利昂的回收、废弃处理・无需根据日本的氟利昂排放控制法，进行定期检查。※提供样机试用服务　请与最近的营业所联系　营业所一览 系列设定温度范围...

・冷却能力：38kW・电源：3相 380～415V（50Hz/60Hz）　　　　3相 460～480V（60Hz）・设定温度范围：5～35℃・最高使用环境温度：45℃・温度稳定性：±0.1℃・带加热功...

・3相 AC380～415V(50Hz)、3相 AC460～480V(60Hz)・可利用冷冻回路的排热加热循环液，无需加热器。・可设置于室外：IPX4・体积小、省空间 系列设定温度范围冷却能力温度稳...

・对应低GWP冷媒　GWP：148※　※ IPCC AR4标准　　EU冷媒管制：GWP 150以上　　美国冷媒管制：GWP 700以上　　加利福尼亚州冷媒管制：GWP 750以上・环境对应冷媒R454...

・无需加热器，也可通过冷冻回路的排热作用加热循环液・电源可对应欧洲、亚洲、大洋洲、北美、中南美规格・静音设计：70dB（A）・室外设置：IPX4・小型・省空间※提供样机试用服务　请与最近的营业所联系。...