・阀位数/输出点数：对应4～64位※/128点　※阀位数为4的倍数。・有助于节省空间、减少 SI 单元的数量、减少配线和工时。 系列流量特性4/2→3/5（A/B→E）C［dm3/（s・bar）］流...

・脉冲输入型的电机驱动器。・对应电机容量：100W、200W、400W。・对应编码器：　相对增量型　绝对增量型・采用自动增益调整伺服系统。・带显示设定功能・可通过最多255的点表进行定位 型号系列对...

对应输入、输出，网关型※不同系列适用协议不同。　详情请参照各系列的样本。※EX500-GDN1系列于2021年3月停止生产。　请选择EX260-SDN、EX600-SDN。 系列防护等级通信协议※适...

・追加订制规格 [New]　对应无3通残压释放阀（-X101）　对应无调压阀（待机调压专用）（-X102）・空气消耗量：最大削减62%　监测到设备处于待机（生产停止时）的状态时，降低供气压力。　削减不...

・追加订制规格 [New]　对应无3通残压释放阀（-X101）　对应无调压阀（待机调压专用）（-X102）・空气消耗量：最大削减62%　监测到设备处于待机（生产停止时）的状态时，降低供气压力。　削减不...

・追加隔板型真空发生器的高效消音型消声器[New]・追加破坏流量调整单元・集多功能于一体的紧凑型集装阀　元件一体化设计，用于同时使用执行器和真空吸附的应用・对应EtherCAT®、IO-Link [N...

・追加订制规格 [New]　对应无3通残压释放阀（-X101）　对应无调压阀（待机调压专用）（-X102）・空气消耗量：最大削减62%　监测到设备处于待机（生产停止时）的状态时，降低供气压力。　削减不...

・控制器和高压电源组件可分离安装・节省空间：高37mm×宽30mm（棒型）　　　　 　厚16mm×宽53mm×高32mm（喷嘴型）・1台控制器最多可连接4个棒型、喷嘴型・电位振幅：25V以下・高速...

・因采用双AC方式可降低电位振幅，电位振幅25V以下（安装高度300mm时）・利用反馈传感器快速除静电・利用自动平衡传感器削减调整工时和维护工时・操作简单：只要接通电源就可使用（标准型）・可远距离设定...

・控制器和高压电源组件可分离安装・节省空间：高37mm×宽30mm（棒型）　　　　 　厚16mm×宽53mm×高32mm（喷嘴型）・1台控制器最多可连接4个棒型、喷嘴型・电位振幅：25V以下・高速...

・因采用双AC方式可降低电位振幅，电位振幅25V以下（安装高度300mm时）・利用反馈传感器快速除静电・利用自动平衡传感器削减调整工时和维护工时・操作简单：只要接通电源就可使用（标准型）・可远距离设定...

・额定控制流量范围：追加200～2000L/min New・可自动调整流量・干燥空气、N₂・控制精度：±5%F.S.・响应性：0.5s以下・省空间／配管／配线／导入工时・可选择润滑脂　对应低露点润滑脂...

・1台控制器即可实现流量的自动调节・干燥空气, N₂, Ar, CO₂・彩色显示・2画面显示　可直观地确认瞬时流量、流量指令值、累积流量等・对应IO-Link・流量范围比 100：1・一台即可控制广泛...

・追加订制规格 [New]　对应无3通残压释放阀（-X101）　对应无调压阀（待机调压专用）（-X102）・空气消耗量：最大削减62%　监测到设备处于待机（生产停止时）的状态时，降低供气压力。　削减不...

・适合用于风量管理、过滤网堵塞检测、液面检测等。・模拟输出（电压/电流）。 系列种类额定压差范围 PSE550真空压0～2kPa ...

・数字显示式压力计上添加了压力开关的功能。 系列设定压力（MPa） GS400～0.98 ...

・可模块化安装。・可安装ARM10/11系列。・可切换压力显示单位。・带防震荡功能。・有节电模式。 系列种类额定压力范围 ISE35正圧-0.1 ～1MPa ...

・数字显示式压力计上添加了压力开关的功能。 系列设定压力（MPa） GS400～0.98 ...

・可在洁净室内使用的排气洁净器。 系列过滤精度（μm）最大处理流量 L/min(ANR)接管口径 AMP0.01（捕捉效率95％）200～10001/4，3/8，1/2，3/4 ...

・可捕捉真空泵排出油烟的99.5%。・实现无油烟的作业环境。・即使是小流量高浓度的油烟也能捕捉分离99.5%。・不需要真空泵的排气导管。 ...