・螺纹连接・轻量：2.5kg(铝制主体)・使用压力：－100~0kPa・公称过滤精度：149μm(100目)・可使用真空用压力表进行堵塞管理 系列连接口径使用压力（kPa）公称过滤精度（μm） ...

・最低使用压力：1×10-6Pa(abs)・泄漏量：内部1.3×10-9Pa・m3/s、外部1.3×10-11Pa・m3/s・备有2种接头、内螺纹・消耗功率：最大减少25%・重量：最大减轻18%　0....

・波纹管耐久性提升（法兰尺寸100、160）・寿命：200万次・可实现装置的省空间化　无排气方向限制(阀体侧←→波纹管侧 两方向均可)　安装姿势的自由度提升・轻量、紧凑 系列操作方式阀形式轴密封方式...

・无需加热器，也可通过冷冻回路的排热作用加热循环液・电源可对应欧洲、亚洲、大洋洲、北美、中南美规格・静音设计：70dB（A）・室外设置：IPX4・小型・省空间※提供样机试用服务　请与最近的营业所联系。...

・无需加热器，也可通过冷冻回路的排热作用加热循环液・电源可对应欧洲、亚洲、大洋洲、北美、中南美规格・静音设计：70dB（A）・室外设置：IPX4・小型・省空间※提供样机试用服务　请与最近的营业所联系。...

・最低使用压力：1×10-6Pa(abs)・泄漏量：内部1.3×10-9Pa・m3/s、外部1.3×10-11Pa・m3/s・备有2种接头、内螺纹・消耗功率：最大减少25%・重量：最大减轻18%　0....

・高速响应：ON时 0.45ms、OFF时 0.4ms(±0.05ms)。・长寿命 50亿次以上。・高频率 1200Hz。・薄型 9mm。・低功耗 4W。 系列流量消耗功率 (W)最高动作频率 (H...

・无需加热器，也可通过冷冻回路的排热作用加热循环液・电源可对应欧洲、亚洲、大洋洲、北美、中南美规格・静音设计：70dB（A）・室外设置：IPX4・小型・省空间※提供样机试用服务　请与最近的营业所联系。...

・无需加热器，也可通过冷冻回路的排热作用加热循环液・电源可对应欧洲、亚洲、大洋洲、北美、中南美规格・静音设计：70dB（A）・室外设置：IPX4・小型・省空间※提供样机试用服务　请与最近的营业所联系。...

・脉冲输入型的电机驱动器。・对应电机容量：100W、200W、400W。・对应编码器：　相对增量型　绝对增量型・采用自动增益调整伺服系统。・带显示设定功能・可通过最多255的点表进行定位 型号系列对...

对应输入、输出，网关方式※不同系列适用协议不同。　详情请参照各系列的样本。 系列防护等级通信协议※适用的阀 EX510IP20DeviceNet™PROFIBUS DPCC-Link...

对应输入、输出，网关方式※不同系列适用协议不同。　详情请参照各系列的样本。 系列防护等级通信协议※适用的阀 EX510IP20DeviceNet™PROFIBUS DPCC-Link...

对应输入、输出，网关方式※不同系列适用协议不同。　详情请参照各系列的样本。 系列防护等级通信协议※适用的阀 EX510IP20DeviceNet™PROFIBUS DPCC-Link...

・追加隔板型真空发生器的高效消音型消声器[New]・追加破坏流量调整单元・集多功能于一体的紧凑型集装阀　元件一体化设计，用于同时使用执行器和真空吸附的应用・对应EtherCAT®、IO-Link [N...

・适合流体：空气、, N2・流量范围：最大12,000L/min・流量范围比 100:1　1台即可测量广泛的流量范围・耐冷凝水、耐异物能力提高・压力损失降低75%（20kPa→5kPa）・贯通构造・对...

・最多可连接4个压力传感器！　集中管理，减小设置空间　1台显示器可管理不同用途的传感器・可边观察测定值边进行设定・对应IO-Link 系列设定压力范围适合压力传感器 PSE200A−...

・到位状态的监视、预警· 异常警报・使用双传感器，确保对异常的预知预防（IoT）　过程数据提供显示值、2次侧压力值、供给压力值。・有NPN／PNP切换功能・3画面显示（设定时）・支持上下限参数设定・有...

・脉冲输入型的电机驱动器。・对应电机容量：100W、200W、400W。・对应编码器：　相对增量型　绝对增量型・采用自动增益调整伺服系统。・带显示设定功能・可通过最多255的点表进行定位 型号系列对...

・追加隔板型真空发生器的高效消音型消声器[New]・追加破坏流量调整单元・集多功能于一体的紧凑型集装阀　元件一体化设计，用于同时使用执行器和真空吸附的应用・对应EtherCAT®、IO-Link [N...

对应输入、输出，网关方式※不同系列适用协议不同。　详情请参照各系列的样本。 系列防护等级通信协议※适用的阀 EX510IP20DeviceNet™PROFIBUS DPCC-Link...