・体积小、重量轻　外罩材质：铝压铸。・维护点检容易。・压差显示器、压差显示开关（CB-□□H）可检测堵塞状态 系列连接口径（Rc）额定流量 L/min滤芯μm（公称过滤精度） FH1...

・SUS316规格＆特殊温度环境（－40℃）规格。・外部使用部件材质：SUS316。・环境及使用流体温度：－40～80℃。・符合NACE国际规格。 系列接管口径设定压力(MPa)过滤精度（μm） ...

・耐特殊温度环境　将密封圈和树脂部件变更为特殊材料，以适于在寒冷地区或热带地区等特殊环境条件下使用。 系列环境接管口径设定压力(MPa)过滤精度 AW30-2～AW60-2-X430...

・螺纹连接・轻量：2.5kg(铝制主体)・使用压力：－100~0kPa・公称过滤精度：149μm(100目)・可使用真空用压力表进行堵塞管理 系列连接口径使用压力（kPa）公称过滤精度（μm） ...

・波纹管耐久性提升（法兰尺寸100、160）・寿命：200万次・可实现装置的省空间化　无排气方向限制(阀体侧←→波纹管侧 两方向均可)　安装姿势的自由度提升・轻量、紧凑 系列操作方式阀形式轴密封方式...

［单向阀］・背压可防止流体的逆流。・结构简单，内部的可动零部件仅限O形圈。・采用无弹簧的结构，可减少因震颤等产生的颗粒，并降低下游侧的压力变动。［真空发生器］・真空发生器・更换钢瓶时，用于排出配管中残...

・用于半导体等需要高洁净度气体的行业。・可作为气体的切断阀使用。・接触气体部分无弹簧，驱动部也使用膜片隔离，因此减小了气路的死区，抑制了粒子的产生。 系列名称形式主体材质 AP高纯度...

・适合半导体等需要供给高洁净度气体的行业。・主体材质为SUS316L二次熔炼或SUS316L。・接触气体部分经过电解研磨处理。・外部金属密封构造。 系列形式用途主体材质 AP高纯度工...

・对应无氟利昂（CO2冷媒）・GWP：1（自然冷媒）・EU冷媒管制：GWP150以下※・美国冷媒管制：GWP700以下※・加利福尼亚州冷媒管制：GWP750以下　※截止到2023年12月・可空运　由于...

・对应低GWP冷媒　GWP：148※　※ IPCC AR4标准　　EU冷媒管制：GWP 150以上　　美国冷媒管制：GWP 700以上　　加利福尼亚州冷媒管制：GWP 750以上・环境对应冷媒R454...

・对应低GWP冷媒　GWP：148※　※ IPCC AR4标准　　EU冷媒管制：GWP 150以上　　美国冷媒管制：GWP 700以上　　加利福尼亚州冷媒管制：GWP 750以上・环境对应冷媒R454...

・无需加热器，也可通过冷冻回路的排热作用加热循环液・电源可对应欧洲、亚洲、大洋洲、北美、中南美规格・静音设计：70dB（A）・室外设置：IPX4・小型・省空间※提供样机试用服务　请与最近的营业所联系。...

・对应低温／－10℃・紧凑：与HRS040尺寸相同・冷却能力：1kW(－10℃时)・温度稳定性：±0.1℃・设定温度范围：－10℃～40℃ 系列设定温度范围冷却能力温度稳定性冷却方式循环液 ...

・对应低GWP冷媒　GWP：148※　※ IPCC AR4标准　　EU冷媒管制：GWP 150以上　　美国冷媒管制：GWP 700以上　　加利福尼亚州冷媒管制：GWP 750以上・环境对应冷媒R454...

・无需加热器，也可通过冷冻回路的排热作用加热循环液・电源可对应欧洲、亚洲、大洋洲、北美、中南美规格・静音设计：70dB（A）・室外设置：IPX4・小型・省空间※提供样机试用服务　请与最近的营业所联系。...

・对应低温／－10℃・紧凑：与HRS040尺寸相同・冷却能力：1kW(－10℃时)・温度稳定性：±0.1℃・设定温度范围：－10℃～40℃ 系列设定温度范围冷却能力温度稳定性冷却方式循环液 ...

・最高使用压力：15MPa・小型・轻量：质量 130g(Rc3/8)、210g(Rc1/2)・防止异物附着在主阀周围的结构　采用激光焊接工艺，防止松动 形式系列连接口径最高使用压力 ...

・适合半导体等需要供给高洁净度气体的行业。・主体材质为SUS316L二次熔炼或SUS316L。・接触气体部分经过电解研磨处理。・外部金属密封构造。 系列形式用途主体材质 AP高纯度工...

・利用脉冲吹气所形成的峰值压力　实现高效吹气・CO2排放量（空气消耗量）：减少50%・无需任何控制，即可产生脉冲　只需供给空气，就可以进行脉冲吹气！・先导阀内置结构可实现稳定的吹气 系列阀结构切换方...

・利用脉冲吹气所形成的峰值压力实现高效吹气・耗气量减少50%以上・无需任何控制，即可产生脉冲! 系列阀构造切换方式频率调节幅度 AXTS040□-2□-X2金属密封内部先导规格1〜5...