・温度稳定性高、温度范围大、有故障诊断、外部通信等功能，广泛用于半导体行业・符合各种安全规格・符合UL, SEMI规格以及CE标识※提供样机试用服务　请与最近的营业所联系　营业所一览 シリーズ设定温...

・可进行位置控制、速度控制和力矩控制。・控制编码器：绝对增量型20bit编码器。　（分辨率 1,048,576脉冲／回转）・适合现场总线：MECHATROLINK-Ⅱ、MECHATROLINK-Ⅲ※点...

对应输出※不同系列适用协议不同。　详情请参照各系列的样本。※NKE（株）的省配线H系统已于2021年2月停产。　请考虑更换为其他网络。 系列防护等级通信协议※适用的阀 EX120IP...

对应输入、输出※不同系列适用协议不同。　详情请参照各系列的样本。 系列防护等级通信协议※适用的阀 EX250IP67DeviceNet™PROFIBUS DPCC-LinkEther...

对应输出※不同系列适用协议不同。　详情请参照各系列的样本。※NKE（株）的省配线H系统已于2021年2月停产。　请考虑更换为其他网络。 系列防护等级通信协议※适用的阀 EX120IP...

・无含氟气体・采用CO2冷媒・GWP大幅削减・GWP＝1 可对应各国的冷媒法规　EU冷媒管制 ：GWP150以上　美国冷媒管制 ：GWP700以上　加利福尼亚州冷媒管制 ：GWP750以上　※GWP表...

・与工厂内循环水直接热交换・适合在不需要制冷的范围内温控时使用・具有温度稳定性高、温度范围广、故障诊断、外部通信等丰富功能的装置，　在半导体过程控制装置上成果较多・符合UL、SEMI标准、CE认证・可...

・温度稳定性高、温度范围大、有故障诊断、外部通信等功能，广泛用于半导体行业・符合各种安全规格・符合UL, SEMI规格以及CE标识※提供样机试用服务　请与最近的营业所联系　营业所一览 シリーズ设定温...

对应输入、输出※不同系列适用协议不同。　详情请参照各系列的样本。 系列防护等级通信协议※适用的阀 EX250IP67DeviceNet™PROFIBUS DPCC-LinkEther...

对应输入、输出，网关型※不同系列适用协议不同。　详情请参照各系列的样本。※EX500-GDN1系列于2021年3月停止生产。　请选择EX260-SDN、EX600-SDN。 系列防护等级通信协议※适...

对应输出※不同系列适用协议不同。　详情请参照各系列的样本。※NKE（株）的省配线H系统已于2021年2月停产。　请考虑更换为其他网络。 系列防护等级通信协议※适用的阀 EX120IP...

对应输入、输出，网关型※不同系列适用协议不同。　详情请参照各系列的样本。※EX500-GDN1系列于2021年3月停止生产。　请选择EX260-SDN、EX600-SDN。 系列防护等级通信协议※适...

・适用流体：水、乙二醇水溶液・省空间　安装面积最大削减85%　重量最多削减65%・无配管：操作工时最多削减45%・对应IO-Link・3色、2画面显示・使用流体温度0～90℃ 系列额定流量范围（L/...

・3画面数字式流量显示器（PF2M7专用）PFGM302系列[New]　可远程监测管路・干燥空气、N2、Ar、CO2・1台可测量广泛的流量　流量范围比 100：1、最小设定单位 0.01L/min・耐...

・适合干燥空气、N2・3色3画面显示・1个产品即可测量广泛的流量范围　流量范围比 100：1，最小设定单位 1L/min・无润滑脂・对应IO-Link 系列额定流量范围(L/min) ...

・可进行位置控制、速度控制和力矩控制。・控制编码器：绝对增量型20bit编码器。　（分辨率 1,048,576脉冲／回转）・适合现场总线：MECHATROLINK-Ⅱ、MECHATROLINK-Ⅲ※点...

对应输入、输出，网关型※不同系列适用协议不同。　详情请参照各系列的样本。※EX500-GDN1系列于2021年3月停止生产。　请选择EX260-SDN、EX600-SDN。 系列防护等级通信协议※适...

对应输入、输出※不同系列适用协议不同。　详情请参照各系列的样本。 系列防护等级通信协议※适用的阀 EX250IP67DeviceNet™PROFIBUS DPCC-LinkEther...

对应输入、输出，网关型※不同系列适用协议不同。　详情请参照各系列的样本。※EX500-GDN1系列于2021年3月停止生产。　请选择EX260-SDN、EX600-SDN。 系列防护等级通信协议※适...

・额定控制流量范围：追加200～2000L/min New・可自动调整流量・干燥空气、N₂・控制精度：±5%F.S.・响应性：0.5s以下・省空间／配管／配线／导入工时・可选择润滑脂　对应低露点润滑脂...