・内置中空类滤芯・压降：0.03MPa（1次压0.7MPa、最大流量时）・减少了污染环境的化学物质，符合RoHS・金属壳体型(订制)　不锈钢壳体、铝制壳体 系列种类额定流量 L/min (ANR)(...

・采用可更换滤芯的夹头型。　(SFA100・200・300，SFB100)・半导体工艺用的小型一次性过滤器。　(SFB300，SFC100) 形式系列使用压力过滤精度 夹头型圆盘式S...

・节能设计 (第二重新加热器＋数字式涡旋冷冻机)。・消耗功率：最多降低76％。・排热量：最多减少25％。・耐高温。・环境温度：最高45℃，入口空气温度：最高60℃。 系列适合压缩机（kW）处理空气量...

・用作薄片、玻璃基板、柔软工件等的吸附固定。　通过分布于吸板吸附面上的大量小孔吸附工件，工件不会产生变形。・加工精度高。・吸附力大。 系列外形吸附部尺寸烧结金属滤芯粒径吸附口 SP长...

・流量提升，尺寸减小。　省空间、轻量化、流量大。・消耗功率：0.1W(带节电回路的型号※)、0.4W(标准品)　※订制规格・插件连接集装式・可用4位双3通阀・集装底座型号：JJ5SY1，JJ5SY3，...