・省空间、可减少配管工时・流量特性C［dm3（/ s·bar）］　SY3000：1.6、SY5000：3.6・上配管型／横向配管型 系列适合组合元件 SY3000-X990AC30-...

・内置中空类滤芯・压降：0.03MPa（1次压0.7MPa、最大流量时）・减少了污染环境的化学物质，符合RoHS・金属壳体型(订制)　不锈钢壳体、铝制壳体 系列种类额定流量 L/min (ANR)(...

・采用可更换滤芯的夹头型。　(SFA100・200・300，SFB100)・半导体工艺用的小型一次性过滤器。　(SFB300，SFC100) 形式系列使用压力过滤精度 夹头型圆盘式S...

・使用压力范围：－100kPa～1.0MPa。　既可用于正压也可用于真空压。・采用防回转结构。　使用正压时，防止因松动造成零部件飞散。・有2种透明外壳材质可选。　聚碳酸酯（标准）、尼龙（订制规格）。　...

・对应热带地区的高温环境・对应高温环境　环境温度:最高45℃　进口空气温度:最高80℃　露点范围:3℃到20℃・处理空气流量:4.7m3/min (比以前型号提高33%) ・电源电压:单向AC230V...

・用作薄片、玻璃基板、柔软工件等的吸附固定。　通过分布于吸板吸附面上的大量小孔吸附工件，工件不会产生变形。・加工精度高。・吸附力大。 系列外形吸附部尺寸烧结金属滤芯粒径吸附口 SP长...

・追加订制规格 [New]　对应无3通残压释放阀（-X101）　对应无调压阀（待机调压专用）（-X102）・空气消耗量：最大削减62%　监测到设备处于待机（生产停止时）的状态时，降低供气压力。　削减不...