・采用伺服机构，可稳定且正确地控制气缸位置。・也可用于一般产业机械的气缸位置控制。 系列接管口径供给空气压力 (MPa)输入压力 (MPa) IP200Rc1/40.3～0.70.0...

・JIS F8007 IP55。 系列接管口径供给空气压力 (MPa)输入压力 (MPa) IP5000・5100Rc1/40.14～0.70.02～0.1 ...

・防护等级：JISF8007 IP65（符合IEC 60529）。・监测功能。・防爆构造。　　电-气定位器：　　　TIIS耐压防爆构造（ExdⅡBT5）。　　　ATEX本质安全防爆构造（Ⅱ2G Ex ...

・长寿命：300万次（常温时）・发尘量：减少1/5以下（与以前产品相比）・维护性提高　容易更换波纹管　可通过顶部拆装门（订制）・安全对策　采用机械式端锁机构 系列使用环境压力（Pa）使用流体开口窗尺...

・波纹管耐久性提升（法兰尺寸100、160）・寿命：200万次・可实现装置的省空间化　无排气方向限制(阀体侧←→波纹管侧 两方向均可)　安装姿势的自由度提升・轻量、紧凑 系列操作方式阀形式轴密封方式...

・使用珀尔帖元件的高精度温控恒温槽・小型、低噪音・独特的搅拌方式，故上下温度分布均匀 系列设定温度范围最大冷却能力温度稳定性冷却方式循环液 INR-244-696A-15～60℃28...

・空间利用率高：可安装在19英寸机架上　可将多台温控器安装到1个机架上，可节省空间。・温度稳定性：±0.01℃～0.03℃・设定温度范围：10℃～60℃・冷却能力：200W、400W、510W、800...

・无含氟气体・采用CO2冷媒・GWP大幅削减・GWP＝1 可对应各国的冷媒法规　EU冷媒管制 ：GWP150以上　美国冷媒管制 ：GWP700以上　加利福尼亚州冷媒管制 ：GWP750以上　※GWP表...

・对应低GWP冷媒　GWP：146※　　※ Regulation (EU) 2024/573, AIM Act 40 CFR Part 84基准　　EU冷媒管制：GWP 150以上　　美国冷媒管制：G...

・对应低GWP冷媒　GWP：146※ ※ Regulation (EU) 2024/573、AIM Act 40 CFR Part 84标准　　EU冷媒管制：GWP 150以上　　美国冷媒管制：GWP...

・对应低GWP冷媒　GWP：148※　※ IPCC AR4基准　　EU冷媒管制：GWP 150以上　　美国冷媒管制：GWP 700以上　　加利福尼亚州冷媒管制：GWP 750以上・环境对应冷媒R454...

・对应低GWP冷媒　GWP：148※　※ IPCC AR4标准　　EU冷媒管制：GWP 150以上　　美国冷媒管制：GWP 700以上　　加利福尼亚州冷媒管制：GWP 750以上・环境对应冷媒R454...

・对应低GWP冷媒　GWP：146※　※ Regulation (EU) 2024/573, AIM Act 40 CFR Part 84标准　　EU冷媒管制：GWP 150以上　　美国冷媒管制：GW...

・对应低GWP冷媒　GWP：146※　※ Regulation (EU) 2024/573, AIM Act 40 CFR Part 84标准　　EU冷媒管制：GWP 150以上　　美国冷媒管制：GW...

・与工厂内循环水直接热交换・适合在不需要制冷的范围内温控时使用・具有温度稳定性高、温度范围广、故障诊断、外部通信等丰富功能的装置，　在半导体过程控制装置上成果较多・符合UL、SEMI标准、CE认证・可...

・对应低GWP冷媒　GWP：148※　※ IPCC AR4基准　　EU冷媒管制：GWP 150以上　　美国冷媒管制：GWP 700以上　　加利福尼亚州冷媒管制：GWP 750以上・环境对应冷媒R454...

・1台深冷器可分别控制2个系統・双变频器：DC变频冷冻机与变频泵实现了大幅节能・省空间：设置面积减小23％・省配线、省空间、省工时：电源线缆只有1根，冷却水配管仅有1个系統・符合SEMI规格、CE标识...

・在HRZ系列的高性能基础上，采用了DC变频压缩机，实现了节能・温度范围和冷却能力范围大・用于刷新循环块的半导体装置等，可平缓地对应过程条件的变化・符合UL, SEMI规格及CE标识※提供样机试用服务...

・温度稳定性高、温度范围大、有故障诊断、外部通信等功能，广泛用于半导体行业・符合各种安全规格・符合UL, SEMI规格以及CE标识※提供样机试用服务　请与最近的营业所联系　营业所一览 シリーズ设定温...

・采用DC变频式压缩机和变频泵实现更大幅度的节能・节能　按照客户设备的负载， 对压缩机、泵的电机回转数进行变频控制　消耗功率：Max65％削減　冷却水量：Max67％削減・高性能　温度稳定性：±0.1...