・回转执行器与直线执行器均可使用・由TÜV获得SIL 2认证（依据IEC 61508）・有自我诊断功能・有故障安全功能（全闭／全开）・对应HART通信・防护等级：IP66, NEMA 4X 系列外壳...

・回转执行器与直线执行器均可使用・由TÜV获得SIL 2认证（依据IEC 61508）・有自我诊断功能・有故障安全功能（全闭／全开）・对应HART通信・防护等级：IP66, NEMA 4X 系列外壳...

・小流量过滤（最大60L/min）。・可选择防带电规格（FGDE、FGDF）。 系列连接口径最高使用压力使用温度（℃） FGDRc3/8，1/2，3/40.7，1MPa最高80 ...

・阀和针阀一体化的结构，配管空间减少1/4（与以前产品相比）・密封部采用金属膜片，微粒大幅减少・可同时对初期供气、主供气进行流量调整 系列阀形式使用流体配管连接方式配管尺寸 XVD常...

・快速装卸（无需工具）。 系列操作方式轴密封方式阀形式材质法兰尺寸 XLAQ气控式波纹管密封单作用（N.C.）主体：铝波纹管：SUS316L16～50 XLDQ气控式...

・波纹管耐久性提升（法兰尺寸100、160）・寿命：200万次・可实现装置的省空间化　无排气方向限制(阀体侧←→波纹管侧 两方向均可)　安装姿势的自由度提升・轻量、紧凑 系列操作方式阀形式轴密封方式...

・稳定供给经过调温· 调压的干燥洁净空气　不论任何季节，均可供给同等条件和质量的压缩空气・应用示例：　向机床的空气轴承等供给一定条件的压缩空气・内置过滤器　过滤精度：0.01μm（99.9％捕捉效率）...

・使用珀尔帖元件的化学液直接温控用热交换器・氟树脂热交换器，故可对应多种化学液・符合CE认证 系列设定温度范围冷却能力温度稳定性冷却方式循环液 HED10～60℃300W500W75...

・对应低GWP冷媒　GWP：148※　※ IPCC AR4标准　　EU冷媒管制：GWP 150以上　　美国冷媒管制：GWP 700以上　　加利福尼亚州冷媒管制：GWP 750以上・环境对应冷媒R454...

・1台深冷器可分别控制2个系統・双变频器：DC变频冷冻机与变频泵实现了大幅节能・省空间：设置面积减小23％・省配线、省空间、省工时：电源线缆只有1根，冷却水配管仅有1个系統・符合SEMI规格、CE标识...

・对应低GWP冷媒　GWP：148※　※ IPCC AR4标准　　EU冷媒管制：GWP 150以上　　美国冷媒管制：GWP 700以上　　加利福尼亚州冷媒管制：GWP 750以上・环境对应冷媒R454...

・无需加热器，也可通过冷冻回路的排热作用加热循环液・电源可对应欧洲、亚洲、大洋洲、北美、中南美规格・静音设计：70dB（A）・室外设置：IPX4・小型・省空间※提供样机试用服务　请与最近的营业所联系。...

・对应低温／－10℃・紧凑：与HRS040尺寸相同・冷却能力：1kW(－10℃时)・温度稳定性：±0.1℃・设定温度范围：－10℃～40℃ 系列设定温度范围冷却能力温度稳定性冷却方式循环液 ...

・可空运・采用CO2冷媒（R744）・大幅削减GWP・无需氟利昂的回收、废弃处理・无需根据日本的氟利昂排放控制法，进行定期检查。※提供样机试用服务　请与最近的营业所联系　营业所一览 系列设定温度范围...

・对应低GWP冷媒　GWP：148※　※ IPCC AR4标准　　EU冷媒管制：GWP 150以上　　美国冷媒管制：GWP 700以上　　加利福尼亚州冷媒管制：GWP 750以上・环境对应冷媒R454...

・无需加热器，也可通过冷冻回路的排热作用加热循环液・电源可对应欧洲、亚洲、大洋洲、北美、中南美规格・静音设计：70dB（A）・室外设置：IPX4・小型・省空间※提供样机试用服务　请与最近的营业所联系。...

・对应低温／－10℃・紧凑：与HRS040尺寸相同・冷却能力：1kW(－10℃时)・温度稳定性：±0.1℃・设定温度范围：－10℃～40℃ 系列设定温度范围冷却能力温度稳定性冷却方式循环液 ...

・1次喷射可将5μL或以上的定量液体、稳定输出的小型电磁式隔膜泵・可调整输出量・输出量稳定性：重复精度±1％※　※5～15μL时±2%、根据本公司测定条件・关断功能・自吸式，无需启动用水 系列连接方...

※PAF3410-X68的紧固螺栓、气动切换阀为不锈钢规格。　需要对应氢氟酸等全部非金属泵的场合，请使用PAF标准品。 系列驱动方式输出量（L/min）接触液体部材质 PAF3410...

系列驱动方式输出量（L/min）接触液体部分材质 PAP3310自动运转型1～13New PFA（氟树脂） PAP3313气控型0.1～9New PFA（氟树脂） ...