・最高使用压力：15MPa・小型・轻量：质量 130g(Rc3/8)、210g(Rc1/2)・防止异物附着在主阀周围的结构　采用激光焊接工艺，防止松动 形式系列连接口径最高使用压力 ...

・适合半导体等需要供给高洁净度气体的行业。・主体材质为SUS316L二次熔炼或SUS316L。・接触气体部分经过电解研磨处理。・外部金属密封构造。 系列形式用途主体材质 AP高纯度工...

・利用脉冲吹气所形成的峰值压力　实现高效吹气・CO2排放量（空气消耗量）：减少50%・无需任何控制，即可产生脉冲　只需供给空气，就可以进行脉冲吹气！・先导阀内置结构可实现稳定的吹气 系列阀结构切换方...

・利用脉冲吹气所形成的峰值压力实现高效吹气・耗气量减少50%以上・无需任何控制，即可产生脉冲! 系列阀构造切换方式频率调节幅度 AXTS040□-2□-X2金属密封内部先导规格1〜5...

・配管方式　法兰型、法兰主体型、直管型・不需加工2次侧的孔口，削减了配管工时。（法兰主体型）・防护等级：IP65。※　※导线引出式扁平端子部为IP40・高温对应：使用流体温度100℃・追加扁平端子型・...

・用于空气、水、油、蒸汽。・省空间、削减配管工时。・内置过滤器。 系列阀形式接管口径孔口直径（mmφ） VXK21/22/23N.C.／N.O.1/8～3/82～8 ...

・可进行位置控制、速度控制和力矩控制。・控制编码器：绝对增量型20bit编码器。　（分辨率 1,048,576脉冲／回转）・适合现场总线：MECHATROLINK-Ⅱ、MECHATROLINK-Ⅲ※点...

・脉冲输入型的电机驱动器。・对应电机容量：100W、200W、400W。・对应编码器：　相对增量型　绝对增量型・采用自动增益调整伺服系统。・带显示设定功能・可通过最多255的点表进行定位 型号系列对...

・追加隔板型真空发生器的高效消音型消声器[New]・追加破坏流量调整单元・集多功能于一体的紧凑型集装阀　元件一体化设计，用于同时使用执行器和真空吸附的应用・对应EtherCAT®、IO-Link [N...

・阀位数/输出点数：对应4～64位※/128点　※阀位数为4的倍数。・有助于节省空间、减少 SI 单元的数量、减少配线和工时。 系列流量特性4/2→3/5（A/B→E）C［dm3/（s・bar）］流...

・可进行位置控制、速度控制和力矩控制。・控制编码器：绝对增量型20bit编码器。　（分辨率 1,048,576脉冲／回转）・适合现场总线：MECHATROLINK-Ⅱ、MECHATROLINK-Ⅲ※点...

・脉冲输入型的电机驱动器。・对应电机容量：100W、200W、400W。・对应编码器：　相对增量型　绝对增量型・采用自动增益调整伺服系统。・带显示设定功能・可通过最多255的点表进行定位 型号系列对...

・追加隔板型真空发生器的高效消音型消声器[New]・追加破坏流量调整单元・集多功能于一体的紧凑型集装阀　元件一体化设计，用于同时使用执行器和真空吸附的应用・对应EtherCAT®、IO-Link [N...

・将电磁阀和电气比例阀连接到同一个集装式上　阀位数／输出点数：对应4～64位※/128点　※阀位数为4的倍数。　电气比例阀位数：1～4位　I/O单元位数：最多8位・通过元件一体化，实现控制和配线的集中...

・阀位数/输出点数：对应4～64位※/128点　※阀位数为4的倍数。・有助于节省空间、减少 SI 单元的数量、减少配线和工时。 系列流量特性4/2→3/5（A/B→E）C［dm3/（s・bar）］流...

・追加订制规格 [New]　对应无3通残压释放阀（-X101）　对应无调压阀（待机调压专用）（-X102）・空气消耗量：最大削减62%　监测到设备处于待机（生产停止时）的状态时，降低供气压力。　削减不...

・将电磁阀和电气比例阀连接到同一个集装式上　阀位数／输出点数：对应4～64位※/128点　※阀位数为4的倍数。　电气比例阀位数：1～4位　I/O单元位数：最多8位・通过元件一体化，实现控制和配线的集中...

・阀位数/输出点数：对应4～64位※/128点　※阀位数为4的倍数。・有助于节省空间、减少 SI 单元的数量、减少配线和工时。 系列流量特性4/2→3/5（A/B→E）C［dm3/（s・bar）］流...

・追加订制规格 [New]　对应无3通残压释放阀（-X101）　对应无调压阀（待机调压专用）（-X102）・空气消耗量：最大削减62%　监测到设备处于待机（生产停止时）的状态时，降低供气压力。　削减不...

・追加隔板型真空发生器的高效消音型消声器[New]・追加破坏流量调整单元・集多功能于一体的紧凑型集装阀　元件一体化设计，用于同时使用执行器和真空吸附的应用・对应EtherCAT®、IO-Link [N...