・JIS F8007 IP55。 系列接管口径供给空气压力 (MPa)输入压力 (MPa) IP5000・5100Rc1/40.14～0.70.02～0.1 ...

・防护等级：JISF8007 IP65（符合IEC 60529）。・监测功能。・防爆构造。　　电-气定位器：　　　TIIS耐压防爆构造（ExdⅡBT5）。　　　ATEX本质安全防爆构造（Ⅱ2G Ex ...

・可在真空环境内（1.3×10-4Pa）执行搬运工作的气缸。 系列使用环境压力｛Pa（ABS）｝缸筒内径（mm） CYV大气～1.3×10-415，32 ...

・长寿命：300万次（常温时）・发尘量：减少1/5以下（与以前产品相比）・维护性提高　容易更换波纹管　可通过顶部拆装门（订制）・安全对策　采用机械式端锁机构 系列使用环境压力（Pa）使用流体开口窗尺...

・不滞留气体的精密铸造一体结构・与铝制高真空L型阀XL系列有安装互换性（XM系列）注）直线型无尺寸16。 系列操作方式轴密封方式阀形式材质法兰尺寸 XMA/XYA气控式波纹管密封单作...

・波纹管耐久性提升（法兰尺寸100、160）・寿命：200万次・可实现装置的省空间化　无排气方向限制(阀体侧←→波纹管侧 两方向均可)　安装姿势的自由度提升・轻量、紧凑 系列操作方式阀形式轴密封方式...

［单向阀］・背压可防止流体的逆流。・结构简单，内部的可动零部件仅限O形圈。・采用无弹簧的结构，可减少因震颤等产生的颗粒，并降低下游侧的压力变动。［真空发生器］・真空发生器・更换钢瓶时，用于排出配管中残...

・用于半导体等需要高洁净度气体的行业。・可作为气体的切断阀使用。・接触气体部分无弹簧，驱动部也使用膜片隔离，因此减小了气路的死区，抑制了粒子的产生。 系列名称形式主体材质 AP高纯度...

・适合半导体等需要供给高洁净度气体的行业。・主体材质为SUS316L二次熔炼或SUS316L。・接触气体部分经过电解研磨处理。・外部金属密封构造。 系列形式用途主体材质 AP高纯度工...

・对应低GWP冷媒　GWP：148※　※ IPCC AR4标准　　EU冷媒管制：GWP 150以上　　美国冷媒管制：GWP 700以上　　加利福尼亚州冷媒管制：GWP 750以上・环境对应冷媒R454...

・冷却能力：38kW・电源：3相 380～415V（50Hz/60Hz）　　　　3相 460～480V（60Hz）・设定温度范围：5～35℃・最高使用环境温度：45℃・温度稳定性：±0.1℃・带加热功...

・3相 AC380～415V(50Hz)、3相 AC460～480V(60Hz)・可利用冷冻回路的排热加热循环液，无需加热器。・可设置于室外：IPX4・体积小、省空间 系列设定温度范围冷却能力温度稳...

・对应低GWP冷媒　GWP：148※　※ IPCC AR4标准　　EU冷媒管制：GWP 150以上　　美国冷媒管制：GWP 700以上　　加利福尼亚州冷媒管制：GWP 750以上・环境对应冷媒R454...

・无需加热器，也可通过冷冻回路的排热作用加热循环液・电源可对应欧洲、亚洲、大洋洲、北美、中南美规格・静音设计：70dB（A）・室外设置：IPX4・小型・省空间※提供样机试用服务　请与最近的营业所联系。...

・可空运・采用CO2冷媒（R744）・大幅削减GWP・无需氟利昂的回收、废弃处理・无需根据日本的氟利昂排放控制法，进行定期检查。※提供样机试用服务　请与最近的营业所联系　营业所一览 系列设定温度范围...

・冷却能力：38kW・电源：3相 380～415V（50Hz/60Hz）　　　　3相 460～480V（60Hz）・设定温度范围：5～35℃・最高使用环境温度：45℃・温度稳定性：±0.1℃・带加热功...

・3相 AC380～415V(50Hz)、3相 AC460～480V(60Hz)・可利用冷冻回路的排热加热循环液，无需加热器。・可设置于室外：IPX4・体积小、省空间 系列设定温度范围冷却能力温度稳...

・对应低GWP冷媒　GWP：148※　※ IPCC AR4标准　　EU冷媒管制：GWP 150以上　　美国冷媒管制：GWP 700以上　　加利福尼亚州冷媒管制：GWP 750以上・环境对应冷媒R454...

・无需加热器，也可通过冷冻回路的排热作用加热循环液・电源可对应欧洲、亚洲、大洋洲、北美、中南美规格・静音设计：70dB（A）・室外设置：IPX4・小型・省空间※提供样机试用服务　请与最近的营业所联系。...

系列驱动方式输出量（L/min）接触液体部分材质 PAP3310自动运转型1～13New PFA（氟树脂） PAP3313气控型0.1～9New PFA（氟树脂） ...