・温度稳定性高、温度范围大、有故障诊断、外部通信等功能，广泛用于半导体行业・符合各种安全规格・符合UL, SEMI规格以及CE标识※提供样机试用服务　请与最近的营业所联系　营业所一览 シリーズ设定温...

对应输入、输出※不同系列适用协议不同。　详情请参照各系列的样本。 系列防护等级通信协议※适用的阀 EX250IP67DeviceNet™PROFIBUS DPCC-LinkEther...

对应输出※不同系列适用协议不同。　详情请参照各系列的样本。※NKE（株）的省配线H系统已于2021年2月停产。　请考虑更换为其他网络。 系列防护等级通信协议※适用的阀 EX120IP...

・适用流体：水、乙二醇水溶液・省空间　安装面积最大削减85%　重量最多削减65%・无配管：操作工时最多削减45%・对应IO-Link・3色、2画面显示・使用流体温度0～90℃ 系列额定流量范围（L/...

・3画面数字式流量显示器（PF2M7专用）PFGM302系列[New]　可远程监测管路・干燥空气、N2、Ar、CO2・1台可测量广泛的流量　流量范围比 100：1、最小设定单位 0.01L/min・耐...

・控制器和高压电源组件可分离安装・节省空间：高37mm×宽30mm（棒型）　　　　 　厚16mm×宽53mm×高32mm（喷嘴型）・1台控制器最多可连接4个棒型、喷嘴型・电位振幅：25V以下・高速...

・可进行位置控制、速度控制和力矩控制。・控制编码器：绝对增量型20bit编码器。　（分辨率 1,048,576脉冲／回转）・适合现场总线：MECHATROLINK-Ⅱ、MECHATROLINK-Ⅲ※点...

・追加订制规格 [New]　对应无3通残压释放阀（-X101）　对应无调压阀（待机调压专用）（-X102）・空气消耗量：最大削减62%　监测到设备处于待机（生产停止时）的状态时，降低供气压力。　削减不...

对应输入、输出※不同系列适用协议不同。　详情请参照各系列的样本。 系列防护等级通信协议※适用的阀 EX250IP67DeviceNet™PROFIBUS DPCC-LinkEther...

・追加订制规格 [New]　对应无3通残压释放阀（-X101）　对应无调压阀（待机调压专用）（-X102）・空气消耗量：最大削减62%　监测到设备处于待机（生产停止时）的状态时，降低供气压力。　削减不...

・追加订制规格 [New]　对应无3通残压释放阀（-X101）　对应无调压阀（待机调压专用）（-X102）・空气消耗量：最大削减62%　监测到设备处于待机（生产停止时）的状态时，降低供气压力。　削减不...

・追加订制规格 [New]　对应无3通残压释放阀（-X101）　对应无调压阀（待机调压专用）（-X102）・空气消耗量：最大削减62%　监测到设备处于待机（生产停止时）的状态时，降低供气压力。　削减不...

・追加订制规格 [New]　对应无3通残压释放阀（-X101）　对应无调压阀（待机调压专用）（-X102）・空气消耗量：最大削减62%　监测到设备处于待机（生产停止时）的状态时，降低供气压力。　削减不...

・控制器和高压电源组件可分离安装・节省空间：高37mm×宽30mm（棒型）　　　　 　厚16mm×宽53mm×高32mm（喷嘴型）・1台控制器最多可连接4个棒型、喷嘴型・电位振幅：25V以下・高速...

・因采用双AC方式可降低电位振幅，电位振幅25V以下（安装高度300mm时）・利用反馈传感器快速除静电・利用自动平衡传感器削减调整工时和维护工时・操作简单：只要接通电源就可使用（标准型）・可远距离设定...

・控制器和高压电源组件可分离安装・节省空间：高37mm×宽30mm（棒型）　　　　 　厚16mm×宽53mm×高32mm（喷嘴型）・1台控制器最多可连接4个棒型、喷嘴型・电位振幅：25V以下・高速...

・因采用双AC方式可降低电位振幅，电位振幅25V以下（安装高度300mm时）・利用反馈传感器快速除静电・利用自动平衡传感器削减调整工时和维护工时・操作简单：只要接通电源就可使用（标准型）・可远距离设定...

・自动调节流量。・流量控制精度：±5% F.S.。・响应时间：10s以下。・无润滑脂。 系列流量控制范围(L/min)流量测量范围(L/min) FC2W-X1100.5～4.02....

・追加订制规格 [New]　对应无3通残压释放阀（-X101）　对应无调压阀（待机调压专用）（-X102）・空气消耗量：最大削减62%　监测到设备处于待机（生产停止时）的状态时，降低供气压力。　削减不...

・适用流体：水、乙二醇水溶液・省空间　安装面积最大削减85%　重量最多削减65%・无配管：操作工时最多削减45%・对应IO-Link・3色、2画面显示・使用流体温度0～90℃ 系列额定流量范围（L/...