・与工厂内循环水直接热交换・适合在不需要制冷的范围内温控时使用・具有温度稳定性高、温度范围广、故障诊断、外部通信等丰富功能的装置，　在半导体过程控制装置上成果较多・符合UL、SEMI标准、CE认证・可...

・可对应电动执行器／LE□的现场总线。・现场总线网络与LEC串行通信的转换单元。・对应2种动作方法。　步信息输入、数值输入。・可通过PLC确认位置、速度等数值。 训练适合现场总线电源电压适合控制器 ...

对应输入、输出，网关方式※不同系列适用协议不同。　详情请参照各系列的样本。 系列防护等级通信协议※适用的阀 EX510IP20DeviceNet™PROFIBUS DPCC-Link...

对应输入、输出，网关型※不同系列适用协议不同。　详情请参照各系列的样本。※EX500-GDN1系列于2021年3月停止生产。　请选择EX260-SDN、EX600-SDN。 系列防护等级通信协议※适...

对应输入、输出※不同系列适用协议不同。　详情请参照各系列的样本。※EX600-SPN1/SPN2已于2023年10月停产。　请选择EX600-SPN3/SPN4。 系列防护等级通信协议※适用的阀 ...

对应输出※不同系列适用协议不同。　详情请参照各系列的样本。※NKE（株）的省配线H系统已于2021年2月停产。　请考虑更换为其他网络。 系列防护等级通信协议※适用的阀 EX120IP...

・可对应电动执行器／LE□的现场总线。・现场总线网络与LEC串行通信的转换单元。・对应2种动作方法。　步信息输入、数值输入。・可通过PLC确认位置、速度等数值。 训练适合现场总线电源电压适合控制器 ...

对应输入、输出，网关方式※不同系列适用协议不同。　详情请参照各系列的样本。 系列防护等级通信协议※适用的阀 EX510IP20DeviceNet™PROFIBUS DPCC-Link...

对应输入、输出，网关型※不同系列适用协议不同。　详情请参照各系列的样本。※EX500-GDN1系列于2021年3月停止生产。　请选择EX260-SDN、EX600-SDN。 系列防护等级通信协议※适...

对应输入、输出※不同系列适用协议不同。　详情请参照各系列的样本。※EX600-SPN1/SPN2已于2023年10月停产。　请选择EX600-SPN3/SPN4。 系列防护等级通信协议※适用的阀 ...

・追加隔板型真空发生器的高效消音型消声器[New]・追加破坏流量调整单元・集多功能于一体的紧凑型集装阀　元件一体化设计，用于同时使用执行器和真空吸附的应用・对应EtherCAT®、IO-Link [N...

・阀位数/输出点数：对应4～64位※/128点　※阀位数为4的倍数。・有助于节省空间、减少 SI 单元的数量、减少配线和工时。 系列流量特性4/2→3/5（A/B→E）C［dm3/（s・bar）］流...

・通过夹钳安装实现8个“0 ”　“0”配管工时 　“0”泄漏 　“0”堵塞 　“0”压力损失 　“0”流体接触 　“0”问题（接触流体部材质）　“0”风险（异物不会侵入配管内部）　额定流量范围可从 “...

・IO-Link版本 V1.1・过程数据长度 输入6字节・传输速度 COM2 (38.4kbps)・最小循环时间 3.5ms・IO-Link接口类型Class A　▶IO-Link主站 系列适合流体...

・适用流体：水、乙二醇水溶液・省空间　安装面积最大削减85%　重量最多削减65%・无配管：操作工时最多削减45%・对应IO-Link・3色、2画面显示・使用流体温度0～90℃ 系列额定流量范围（L/...

・最多可连接4个压力传感器！　集中管理，减小设置空间　1台显示器可管理不同用途的传感器・可边观察测定值边进行设定・对应IO-Link 系列设定压力范围适合压力传感器 PSE200A−...

・20A 系列追加微压范围 [New]・追加M12插头型・追加微压范围・R1/8接头一体型 配线下引出规格・设定项目可视化・简单3步设定・画面切换简单　可边看当前测量值边进行设定・延迟时间：最快1.5...

・可用于以前型号的无线系统・小型、轻量化　面积：约减小61%※(59.8cm2←155cm2)　体积：约减小86%※(159cm3←1,139cm3)　质量：约减轻87%※(130g←965ｇ）　※e...

对应输入、输出※不同系列适用协议不同。　详情请参照各系列的样本。※EX600-SPN1/SPN2已于2023年10月停产。　请选择EX600-SPN3/SPN4。 系列防护等级通信协议※适用的阀 ...

・IO-Link版本 V1.1・过程数据长度 输入32字节／输出32字节 (每1个接口)・IO-Link接口类型 Class A　▶IO-Link设备 系列接口数适合上位通信 EX6...