・无含氟气体・采用CO2冷媒・GWP大幅削减・GWP＝1 可对应各国的冷媒法规　EU冷媒管制 ：GWP150以上　美国冷媒管制 ：GWP700以上　加利福尼亚州冷媒管制 ：GWP750以上　※GWP表...

・与工厂内循环水直接热交换・适合在不需要制冷的范围内温控时使用・具有温度稳定性高、温度范围广、故障诊断、外部通信等丰富功能的装置，　在半导体过程控制装置上成果较多・符合UL、SEMI标准、CE认证・可...

・温度稳定性高、温度范围大、有故障诊断、外部通信等功能，广泛用于半导体行业・符合各种安全规格・符合UL, SEMI规格以及CE标识※提供样机试用服务　请与最近的营业所联系　营业所一览 シリーズ设定温...

对应输入、输出※不同系列适用协议不同。　详情请参照各系列的样本。※EX600-SPN1/SPN2已于2023年10月停产。　请选择EX600-SPN3/SPN4。 系列防护等级通信协议※适用的阀 ...

对应输出※不同系列适用协议不同。　详情请参照各系列的样本。・IP67・对应RJ45通信接口（X205） 系列防护等级通信协议※适用的阀 EX260IP67DeviceNet™PROF...

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・适用流体：水、乙二醇水溶液・省空间　安装面积最大削减85%　重量最多削减65%・无配管：操作工时最多削减45%・对应IO-Link・3色、2画面显示・使用流体温度0～90℃ 系列额定流量范围（L/...

・3画面数字式流量显示器（PF2M7专用）PFGM302系列[New]　可远程监测管路・干燥空气、N2、Ar、CO2・1台可测量广泛的流量　流量范围比 100：1、最小设定单位 0.01L/min・耐...

・适合干燥空气、N2・3色3画面显示・1个产品即可测量广泛的流量范围　流量范围比 100：1，最小设定单位 1L/min・无润滑脂・对应IO-Link 系列额定流量范围(L/min) ...

・可用于以前型号的无线系统・小型、轻量化　面积：约减小61%※(59.8cm2←155cm2)　体积：约减小86%※(159cm3←1,139cm3)　质量：约减轻87%※(130g←965ｇ）　※e...

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・IO-Link版本 V1.1・过程数据长度 输入32字节／输出32字节 (每1个接口)・IO-Link接口类型 Class A　▶IO-Link设备 系列接口数适合上位通信 EX6...

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・可进行位置控制、速度控制和力矩控制。・控制编码器：绝对增量型20bit编码器。　（分辨率 1,048,576脉冲／回转）・适合现场总线：MECHATROLINK-Ⅱ、MECHATROLINK-Ⅲ※点...

・小型 EXW1系列追加模拟输入[New]・抗干扰性　在2.4GHz ISM电波频率范围内使用　采用最快每2ms电波自动跳频技术・无需通信电缆　削减配线工时·空间·成本　降低断线风险・实现工厂自动化环...

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