・风冷式设置简单、操作简单，在任何需要的地方都能得到冷却水・激光加工机/分析装置/LCD制造装置/模具温控等广泛用途中成果较多・小型　W377×H615×D500mm、40kg（HRS012/018/...

・温度稳定性高、温度范围大、有故障诊断、外部通信等功能，广泛用于半导体行业・符合各种安全规格・符合UL, SEMI规格以及CE标识※提供样机试用服务　请与最近的营业所联系　营业所一览 シリーズ设定温...

・可进行位置控制、速度控制和力矩控制。・控制编码器：绝对增量型20bit编码器。　（分辨率 1,048,576脉冲／回转）・适合现场总线：MECHATROLINK-Ⅱ、MECHATROLINK-Ⅲ※点...

对应输入、输出，网关方式※不同系列适用协议不同。　详情请参照各系列的样本。 系列防护等级通信协议※适用的阀 EX510IP20DeviceNet™PROFIBUS DPCC-Link...

・无含氟气体・采用CO2冷媒・GWP大幅削减・GWP＝1 可对应各国的冷媒法规　EU冷媒管制 ：GWP150以上　美国冷媒管制 ：GWP700以上　加利福尼亚州冷媒管制 ：GWP750以上　※GWP表...

・与工厂内循环水直接热交换・适合在不需要制冷的范围内温控时使用・具有温度稳定性高、温度范围广、故障诊断、外部通信等丰富功能的装置，　在半导体过程控制装置上成果较多・符合UL、SEMI标准、CE认证・可...

・温度稳定性高、温度范围大、有故障诊断、外部通信等功能，广泛用于半导体行业・符合各种安全规格・符合UL, SEMI规格以及CE标识※提供样机试用服务　请与最近的营业所联系　营业所一览 シリーズ设定温...

对应输入、输出，网关方式※不同系列适用协议不同。　详情请参照各系列的样本。 系列防护等级通信协议※适用的阀 EX510IP20DeviceNet™PROFIBUS DPCC-Link...

对应输入、输出，网关方式※不同系列适用协议不同。　详情请参照各系列的样本。 系列防护等级通信协议※适用的阀 EX510IP20DeviceNet™PROFIBUS DPCC-Link...

・追加隔板型真空发生器的高效消音型消声器[New]・追加破坏流量调整单元・集多功能于一体的紧凑型集装阀　元件一体化设计，用于同时使用执行器和真空吸附的应用・对应EtherCAT®、IO-Link [N...

・可进行位置控制、速度控制和力矩控制。・控制编码器：绝对增量型20bit编码器。　（分辨率 1,048,576脉冲／回转）・适合现场总线：MECHATROLINK-Ⅱ、MECHATROLINK-Ⅲ※点...

・追加隔板型真空发生器的高效消音型消声器[New]・追加破坏流量调整单元・集多功能于一体的紧凑型集装阀　元件一体化设计，用于同时使用执行器和真空吸附的应用・对应EtherCAT®、IO-Link [N...

对应输入、输出，网关方式※不同系列适用协议不同。　详情请参照各系列的样本。 系列防护等级通信协议※适用的阀 EX510IP20DeviceNet™PROFIBUS DPCC-Link...

・追加隔板型真空发生器的高效消音型消声器[New]・追加破坏流量调整单元・集多功能于一体的紧凑型集装阀　元件一体化设计，用于同时使用执行器和真空吸附的应用・对应EtherCAT®、IO-Link [N...

对应输入、输出，网关方式※不同系列适用协议不同。　详情请参照各系列的样本。 系列防护等级通信协议※适用的阀 EX510IP20DeviceNet™PROFIBUS DPCC-Link...

・追加隔板型真空发生器的高效消音型消声器[New]・追加破坏流量调整单元・集多功能于一体的紧凑型集装阀　元件一体化设计，用于同时使用执行器和真空吸附的应用・对应EtherCAT®、IO-Link [N...

・携带性优越的表面电位计。 系列额定带电量范围显示最小单位 IZH10±20.0kV0.1kV（±1.0～±20.0kV）0.01kV（0～±0.99kV） ...

・检测工件的带电电位，输出模拟电压。 系列测定电位输出电压有效检测距离 IZD10-110±0.4kV（检测距离25mm时）1～5V（输出阻抗 约100Ω）10～50mm ...

・轻量，仅200g（主体重量）・操作力轻、便于握持・配有照明用LED・带吹气设定功能　可选择连续吹扫／脉冲吹扫・高速除静电：0.3秒（距离：150mm、使用压力：0.2MPa时） 系列离子发生方式偏...

・薄型：16mm(厚度)×100mm(宽度)×46mm(高度)・轻量：减轻33%　120g→80g・偏置电压：±10V・可结合用途选择喷嘴　节能喷嘴（近距离除电）　大流量喷嘴（远距离除电） 系列离子...