・可进行位置控制、速度控制和力矩控制。・控制编码器：绝对增量型20bit编码器。　（分辨率 1,048,576脉冲／回转）・适合现场总线：MECHATROLINK-Ⅱ、MECHATROLINK-Ⅲ※点...

・无含氟气体・采用CO2冷媒・GWP大幅削减・GWP＝1 可对应各国的冷媒法规　EU冷媒管制 ：GWP150以上　美国冷媒管制 ：GWP700以上　加利福尼亚州冷媒管制 ：GWP750以上　※GWP表...

・与工厂内循环水直接热交换・适合在不需要制冷的范围内温控时使用・具有温度稳定性高、温度范围广、故障诊断、外部通信等丰富功能的装置，　在半导体过程控制装置上成果较多・符合UL、SEMI标准、CE认证・可...

・温度稳定性高、温度范围大、有故障诊断、外部通信等功能，广泛用于半导体行业・符合各种安全规格・符合UL, SEMI规格以及CE标识※提供样机试用服务　请与最近的营业所联系　营业所一览 シリーズ设定温...

・可进行位置控制、速度控制和力矩控制。・控制编码器：绝对增量型20bit编码器。　（分辨率 1,048,576脉冲／回转）・适合现场总线：MECHATROLINK-Ⅱ、MECHATROLINK-Ⅲ※点...

・采用2层结构，减少了堵塞。・消音效果：35dB（A）。 ...

・采用聚氨酯弹性体阀座，高压环境下的耐久性提高。 形式系列连接口径使用压力 对应5.0MPaVCHC403/4，10.05～5.0MPa ...

・外部全不锈钢，提高耐腐蚀性・耐热性　可在高温、水飞溅、禁铜・禁锌等环境中使用・材质：SUS316（外部金属部）、FKM（密封部）・最高使用温度：150℃・使用NSF H1润滑脂・使用流体：空气、水、...

・耐水结构、外部为全不锈钢材质　可在水滴飞溅的环境中使用・金属材质：外部金属为全不锈钢SUS316※1・使用润滑脂：NSF H1润滑脂・最高使用温度：150℃・耐水性、洗净性提高　※1 SUS304（...

・外部全部采用不锈钢，提高耐腐蚀性・耐热性　高温、水飞溅、禁铜・禁锌等环境下可以使用・材质：SUS316(外部金属部)※、FKM（密封部）　※主体A以外的材质是SUS304。・最高使用温度：150℃・...

・外部为全金属，耐腐蚀性提高　可在高温、有水飞溅、禁铜、禁锌等环境中使用・最高使用温度：150℃・使用NSF H1润滑脂・连接螺纹：可对应M5・R・G・材质：SUS316(主体A)、FKM（密封材质）...

・可使用软质铜管。・使用无方向性的金属套筒。 系列适合管子外径连接螺纹 Hφ4，φ6，φ8，φ10，φ121/8，1/4，3/8，1/2 DLφ4，φ6，φ8，φ10...

・回收昂贵的切削油、研磨油泄漏液。・不需要人工进行泄漏液的回收。・使用已有的泵即可，不需要额外的动力。 ...

・水路的压力调节。 系列接管口径设定压力（MPa） WR110-□-X224Rc1/8, 1/40.08～0.39 WR110-□-X215Rc1/8, 1/4、NP...

・寿命：1000万次。　聚氨酯弹性座阀，高压环境下的耐久性提高。・导向（滑动）部适用NSF-H1标准的润滑脂。・采用金属密封型溢流阀，耐久性提高。・滑动部采用特殊氟树脂密封材质。　放置响应性稳定化，不...

・空气消耗量：最大约减少90%(与以前产品相比)。・大流量：最大约为2倍(与以前产品相比)。・重量轻：最大约减轻27％(与以前产品相比)。・灵敏度：0.2％(满量程)。・操作重复性：±0.5％(满量程...

・空气消耗量：泄气量「0」。・大流量：最大约为以前的2倍（与以前产品相比）。・重量轻：最多约削减27％（与以前产品相比）。・重复操作性：±1％（满量程）。 系列接管口径设定压力（MPa） ...

・水路的压力调节。 系列接管口径设定压力（MPa） WR110-□-X224Rc1/8, 1/40.08～0.39 WR110-□-X215Rc1/8, 1/4、NP...

・寿命：1000万次。　聚氨酯弹性座阀，高压环境下的耐久性提高。・导向（滑动）部适用NSF-H1标准的润滑脂。・采用金属密封型溢流阀，耐久性提高。・滑动部采用特殊氟树脂密封材质。　放置响应性稳定化，不...

・空气消耗量：最大约减少90%(与以前产品相比)。・大流量：最大约为2倍(与以前产品相比)。・重量轻：最大约减轻27％(与以前产品相比)。・灵敏度：0.2％(满量程)。・操作重复性：±0.5％(满量程...