・无含氟气体・采用CO2冷媒・GWP大幅削减・GWP＝1 可对应各国的冷媒法规　EU冷媒管制 ：GWP150以上　美国冷媒管制 ：GWP700以上　加利福尼亚州冷媒管制 ：GWP750以上　※GWP表...

・与工厂内循环水直接热交换・适合在不需要制冷的范围内温控时使用・具有温度稳定性高、温度范围广、故障诊断、外部通信等丰富功能的装置，　在半导体过程控制装置上成果较多・符合UL、SEMI标准、CE认证・可...

・温度稳定性高、温度范围大、有故障诊断、外部通信等功能，广泛用于半导体行业・符合各种安全规格・符合UL, SEMI规格以及CE标识※提供样机试用服务　请与最近的营业所联系　营业所一览 シリーズ设定温...

・对应EtherCAT、EtherNet/IP™、PROFINET、DeviceNet®、　IO-Link、CC-Link・对应2种动作指令方法　步序号指令运转、数值指令运转・通信电缆可连续配线・对应...

对应输入、输出，网关方式※不同系列适用协议不同。　详情请参照各系列的样本。 系列防护等级通信协议※适用的阀 EX510IP20DeviceNet™PROFIBUS DPCC-Link...

对应输出※不同系列适用协议不同。　详情请参照各系列的样本。※NKE（株）的省配线H系统已于2021年2月停产。　请考虑更换为其他网络。 系列防护等级通信协议※适用的阀 EX120IP...

对应输入、输出，网关方式※不同系列适用协议不同。　详情请参照各系列的样本。 系列防护等级通信协议※适用的阀 EX510IP20DeviceNet™PROFIBUS DPCC-Link...

・追加隔板型真空发生器的高效消音型消声器[New]・追加破坏流量调整单元・集多功能于一体的紧凑型集装阀　元件一体化设计，用于同时使用执行器和真空吸附的应用・对应EtherCAT®、IO-Link [N...

・根据执行器的行程位置，输出过程数据・1个开关最多可识别3个位置　可识别分辨率：±0.1mm　※在高分辨率范围内・可在远离执行器的地方设置检测位置・过程数据输出（-1000～1000）　有IO-Lin...

・快速除静电最快0.1秒・省空间 高70mm×宽28mm　紧凑・扁平主体　可安装在狭小空间内・对应通信协议IO-Link・低维护率的电极针卡盒　集中电极针周围的空气（减少电极针污染）和辅助空气（离子输...

・IO-Link版本 V1.1・过程数据长度 输入14字节／输出22字节・传输速度 COM3 (230.4kbps)・最小循环时间 2.4ms・IO-Link接口类型 Class A・点此查看适合电动...

・可进行位置控制、速度控制和力矩控制。・控制编码器：绝对增量型20bit编码器。　（分辨率 1,048,576脉冲／回转）・适合现场总线：MECHATROLINK-Ⅱ、MECHATROLINK-Ⅲ※点...

・追加隔板型真空发生器的高效消音型消声器[New]・追加破坏流量调整单元・集多功能于一体的紧凑型集装阀　元件一体化设计，用于同时使用执行器和真空吸附的应用・对应EtherCAT®、IO-Link [N...

・对应EtherCAT、EtherNet/IP™、PROFINET、DeviceNet®、　IO-Link、CC-Link・对应2种动作指令方法　步序号指令运转、数值指令运转・通信电缆可连续配线・对应...

・对应EtherCAT、EtherNet/IP™、PROFINET、DeviceNet®、　IO-Link、CC-Link・对应2种动作指令方法　步序号指令运转、数值指令运转・通信电缆可连续配线・对应...

对应输入、输出，网关方式※不同系列适用协议不同。　详情请参照各系列的样本。 系列防护等级通信协议※适用的阀 EX510IP20DeviceNet™PROFIBUS DPCC-Link...

・追加隔板型真空发生器的高效消音型消声器[New]・追加破坏流量调整单元・集多功能于一体的紧凑型集装阀　元件一体化设计，用于同时使用执行器和真空吸附的应用・对应EtherCAT®、IO-Link [N...

・对应EtherCAT、EtherNet/IP™、PROFINET、DeviceNet®、　IO-Link、CC-Link・对应2种动作指令方法　步序号指令运转、数值指令运转・通信电缆可连续配线・对应...

对应输入、输出，网关方式※不同系列适用协议不同。　详情请参照各系列的样本。 系列防护等级通信协议※适用的阀 EX510IP20DeviceNet™PROFIBUS DPCC-Link...

・追加隔板型真空发生器的高效消音型消声器[New]・追加破坏流量调整单元・集多功能于一体的紧凑型集装阀　元件一体化设计，用于同时使用执行器和真空吸附的应用・对应EtherCAT®、IO-Link [N...