・与工厂内循环水直接热交换・适合在不需要制冷的范围内温控时使用・具有温度稳定性高、温度范围广、故障诊断、外部通信等丰富功能的装置，　在半导体过程控制装置上成果较多・符合UL、SEMI标准、CE认证・可...

・温度稳定性高、温度范围大、有故障诊断、外部通信等功能，广泛用于半导体行业・符合各种安全规格・符合UL, SEMI规格以及CE标识※提供样机试用服务　请与最近的营业所联系　营业所一览 シリーズ设定温...

・可进行位置控制、速度控制和力矩控制。・控制编码器：绝对增量型20bit编码器。　（分辨率 1,048,576脉冲／回转）・适合现场总线：MECHATROLINK-Ⅱ、MECHATROLINK-Ⅲ※点...

・采用2层结构，减少了堵塞。・消音效果：35dB（A）。 ...

・采用聚氨酯弹性体阀座，高压环境下的耐久性提高。 形式系列连接口径使用压力 对应5.0MPaVCHC403/4，10.05～5.0MPa ...

・外部全不锈钢，提高耐腐蚀性・耐热性　可在高温、水飞溅、禁铜・禁锌等环境中使用・材质：SUS316（外部金属部）、FKM（密封部）・最高使用温度：150℃・使用NSF H1润滑脂・使用流体：空气、水、...

・耐水结构、外部为全不锈钢材质　可在水滴飞溅的环境中使用・金属材质：外部金属为全不锈钢SUS316※1・使用润滑脂：NSF H1润滑脂・最高使用温度：150℃・耐水性、洗净性提高　※1 SUS304（...

・管管子定位自由　由于管子可贯通接头主体，可自由设定位置・可在半导体制造工程方面、用于化学液的压送等・可对应酸· 碱· 超纯水等化学液・材质：New PFA（主体、螺母）、PTFE（弹簧夹） 系列适...

・可使用软质铜管。・使用无方向性的金属套筒。 系列适合管子外径连接螺纹 Hφ4，φ6，φ8，φ10，φ121/8，1/4，3/8，1/2 DLφ4，φ6，φ8，φ10...

・回收昂贵的切削油、研磨油泄漏液。・不需要人工进行泄漏液的回收。・使用已有的泵即可，不需要额外的动力。 ...

・寿命：1000万次。　聚氨酯弹性座阀，高压环境下的耐久性提高。・导向（滑动）部适用NSF-H1标准的润滑脂。・采用金属密封型溢流阀，耐久性提高。・滑动部采用特殊氟树脂密封材质。　放置响应性稳定化，不...

・空气消耗量：泄气量「0」。・大流量：最大约为以前的2倍（与以前产品相比）。・重量轻：最多约削减27％（与以前产品相比）。・重复操作性：±1％（满量程）。 系列接管口径设定压力（MPa） ...

・寿命：1000万次。　聚氨酯弹性座阀，高压环境下的耐久性提高。・导向（滑动）部适用NSF-H1标准的润滑脂。・采用金属密封型溢流阀，耐久性提高。・滑动部采用特殊氟树脂密封材质。　放置响应性稳定化，不...

・空气消耗量：泄气量「0」。・大流量：最大约为以前的2倍（与以前产品相比）。・重量轻：最多约削减27％（与以前产品相比）。・重复操作性：±1％（满量程）。 系列接管口径设定压力（MPa） ...

・细菌捕捉性能：LRV≧9　采用符合FDA／日本食品卫生法的材料※　※接触流体部为树脂·橡胶　流路部的润滑油使用NSF-H1等级　为获得HACCP、FSSC22000认证做出贡献！・过滤精度：0.01...

・采用符合FDA/食品卫生法的材料・采用NSF-H1等级的食品用润滑脂・外部抗菌・有助于HACCP等卫生管理・有助于取得FSSC22000认证・抗菌过滤器：抗菌活性値 4以上・除菌过滤器：细菌捕捉性能...

・将压缩机输出的高温压缩空气冷却至40℃以下，并通过冷凝将所含的水分高效分离。・水冷式冷却器在高温潮湿、尘埃多的恶劣条件下也能获得稳定的性能。 系列适合压缩机处理空气量L/min（ANR） ...

・将压缩机输出的高温压缩空气冷却至40℃以下，并通过冷凝将所含的水分分离。・采用风冷方式，无需冷却设备。・无须担心停水或冻结，维护简单、运行成本低。 系列适合压缩机处理空气量 L/min（ANR） ...

・即插即用　对应TMComponent简易编程・可通过磁石吸附、保持工件・对应带孔、有凹凸及复杂形状的工件・外形紧凑，保持力大　保持力最大200N（ø25、工件厚6mm时）・切断空气时也能保持工件・仅...

・即插即用　对应TMComponent简易编程・仅需连接1根压缩空气供给管和1根带M8插头的电线即可工作・真空发生器、供气阀·破坏阀、压力传感器、吸盘一体化设计・安装规格：依据ISO9409-1-50...