・螺纹连接・轻量：2.5kg(铝制主体)・使用压力：－100~0kPa・公称过滤精度：149μm(100目)・可使用真空用压力表进行堵塞管理 系列连接口径使用压力（kPa）公称过滤精度（μm） ...

・无含氟气体・采用CO2冷媒・GWP大幅削减・GWP＝1 可对应各国的冷媒法规　EU冷媒管制 ：GWP150以上　美国冷媒管制 ：GWP700以上　加利福尼亚州冷媒管制 ：GWP750以上　※GWP表...

・对应无氟利昂（CO2冷媒）・GWP：1（自然冷媒）・EU冷媒管制：GWP150以下※・美国冷媒管制：GWP700以下※・加利福尼亚州冷媒管制：GWP750以下　※截止到2023年12月・可空运　由于...

・可空运・采用CO2冷媒（R744）・大幅削减GWP・无需氟利昂的回收、废弃处理・无需根据日本的氟利昂排放控制法，进行定期检查。※提供样机试用服务　请与最近的营业所联系　营业所一览 系列设定温度范围...

・无含氟气体・采用CO2冷媒・GWP大幅削减・GWP＝1 可对应各国的冷媒法规　EU冷媒管制 ：GWP150以上　美国冷媒管制 ：GWP700以上　加利福尼亚州冷媒管制 ：GWP750以上　※GWP表...

・对应EtherCAT、EtherNet/IP™、PROFINET、DeviceNet®、　IO-Link、CC-Link・对应2种动作指令方法　步序号指令运转、数值指令运转・通信电缆可连续配线・对应...

・对应无氟利昂（CO2冷媒）・GWP：1（自然冷媒）・EU冷媒管制：GWP150以下※・美国冷媒管制：GWP700以下※・加利福尼亚州冷媒管制：GWP750以下　※截止到2023年12月・可空运　由于...

・无含氟气体・采用CO2冷媒・GWP大幅削减・GWP＝1 可对应各国的冷媒法规　EU冷媒管制 ：GWP150以上　美国冷媒管制 ：GWP700以上　加利福尼亚州冷媒管制 ：GWP750以上　※GWP表...

・对应EtherCAT、EtherNet/IP™、PROFINET、DeviceNet®、　IO-Link、CC-Link・对应2种动作指令方法　步序号指令运转、数值指令运转・通信电缆可连续配线・对应...

・控制器和高压电源组件可分离安装・节省空间：高37mm×宽30mm（棒型）　　　　 　厚16mm×宽53mm×高32mm（喷嘴型）・1台控制器最多可连接4个棒型、喷嘴型・电位振幅：25V以下・高速...

・对应EtherCAT、EtherNet/IP™、PROFINET、DeviceNet®、　IO-Link、CC-Link・对应2种动作指令方法　步序号指令运转、数值指令运转・通信电缆可连续配线・对应...

・对应EtherCAT、EtherNet/IP™、PROFINET、DeviceNet®、　IO-Link、CC-Link・对应2种动作指令方法　步序号指令运转、数值指令运转・通信电缆可连续配线・对应...

・对应EtherCAT、EtherNet/IP™、PROFINET、DeviceNet®、　IO-Link、CC-Link・对应2种动作指令方法　步序号指令运转、数值指令运转・通信电缆可连续配线・对应...

・控制器和高压电源组件可分离安装・节省空间：高37mm×宽30mm（棒型）　　　　 　厚16mm×宽53mm×高32mm（喷嘴型）・1台控制器最多可连接4个棒型、喷嘴型・电位振幅：25V以下・高速...

・因采用双AC方式可降低电位振幅，电位振幅25V以下（安装高度300mm时）・利用反馈传感器快速除静电・利用自动平衡传感器削减调整工时和维护工时・操作简单：只要接通电源就可使用（标准型）・可远距离设定...

・控制器和高压电源组件可分离安装・节省空间：高37mm×宽30mm（棒型）　　　　 　厚16mm×宽53mm×高32mm（喷嘴型）・1台控制器最多可连接4个棒型、喷嘴型・电位振幅：25V以下・高速...

・因采用双AC方式可降低电位振幅，电位振幅25V以下（安装高度300mm时）・利用反馈传感器快速除静电・利用自动平衡传感器削减调整工时和维护工时・操作简单：只要接通电源就可使用（标准型）・可远距离设定...

・可安装于真空发生器系统ZM系列。 系列种类设定压力范围 ZSM1真空压－27～－80kPa ...

・数值化（标度）管理流量　减少设定失误，减少作业工时・节流阀与消音器一体化　减少组装工时和零部件数量・可在阀侧进行速度调节 形式系列连接螺纹 带标度及消音器的排气节流阀AS-DPX0...

・分辨率提高，可实现微调！　1～50mm/s：AS-FSMA系列　50～150mm/s：AS-FSCA系列・带刻度窗，可对流量进行数值管理　有副尺显示，设定可精确到1/4刻度　可减少作业工时和误设定・...