・用于半导体等需要高洁净度气体的行业。・可作为气体的切断阀使用。・接触气体部分无弹簧，驱动部也使用膜片隔离，因此减小了气路的死区，抑制了粒子的产生。 系列名称形式主体材质 AP高纯度...

・适合半导体等需要供给高洁净度气体的行业。・主体材质为SUS316L二次熔炼或SUS316L。・接触气体部分经过电解研磨处理。・外部金属密封构造。 系列形式用途主体材质 AP高纯度工...

・适合半导体等需要供给高洁净度气体的行业。・主体材质为SUS316L二次熔炼或SUS316L。・接触气体部分经过电解研磨处理。・外部金属密封构造。 系列形式用途主体材质 AP高纯度工...

・压力大于设定值时向大气排气，保持配管内压力稳定。 系列接管口径设定压力（MPa） AP1001/8，1/40.05～0.69MPa ...

・压力大于设定值时向大气排气，保持配管内压力稳定。 系列接管口径设定压力（MPa） AP1001/8，1/40.05～0.69MPa ...