・螺纹连接・轻量：2.5kg(铝制主体)・使用压力：－100~0kPa・公称过滤精度：149μm(100目)・可使用真空用压力表进行堵塞管理 系列连接口径使用压力（kPa）公称过滤精度（μm） ...

・大流量过滤（最大3200L/min）。 系列连接口径最高使用压力使用温度（℃） FGA25～150（1B～6B）JIS 10KFF1MPa最大80 ...

・长寿命：300万次（常温时）・发尘量：减少1/5以下（与以前产品相比）・维护性提高　容易更换波纹管　可通过顶部拆装门（订制）・安全对策　采用机械式端锁机构 系列使用环境压力（Pa）使用流体开口窗尺...

・最低使用压力：1×10-6Pa(abs)・泄漏量：内部1.3×10-9Pa・m3/s、外部1.3×10-11Pa・m3/s・备有2种接头、内螺纹・消耗功率：最大减少25%・重量：最大减轻18%　0....

・快速装卸（无需工具）。 系列操作方式轴密封方式阀形式材质法兰尺寸 XLAQ气控式波纹管密封单作用（N.C.）主体：铝波纹管：SUS316L16～50 XLDQ气控式...

［单向阀］・背压可防止流体的逆流。・结构简单，内部的可动零部件仅限O形圈。・采用无弹簧的结构，可减少因震颤等产生的颗粒，并降低下游侧的压力变动。［真空发生器］・真空发生器・更换钢瓶时，用于排出配管中残...

・用于半导体等需要高洁净度气体的行业。・可作为气体的切断阀使用。・接触气体部分无弹簧，驱动部也使用膜片隔离，因此减小了气路的死区，抑制了粒子的产生。 系列名称形式主体材质 AP高纯度...

・适合半导体等需要供给高洁净度气体的行业。・主体材质为SUS316L二次熔炼或SUS316L。・接触气体部分经过电解研磨处理。・外部金属密封构造。 系列形式用途主体材质 AP高纯度工...

・使用珀尔帖元件的小型温控器・用于局部温控或小容量的温控 系列设定温度范围冷却能力温度稳定性冷却方式适合流体 HEA0～50℃22W±0.1℃珀尔帖式风冷空气 ...

・无含氟气体・采用CO2冷媒・GWP大幅削减・GWP＝1 可对应各国的冷媒法规　EU冷媒管制 ：GWP150以上　美国冷媒管制 ：GWP700以上　加利福尼亚州冷媒管制 ：GWP750以上　※GWP表...

・采用DC变频式压缩机和变频泵实现更大幅度的节能・节能　按照客户设备的负载， 对压缩机、泵的电机回转数进行变频控制　消耗功率：Max65％削減　冷却水量：Max67％削減・高性能　温度稳定性：±0.1...

・采用DC变频式压缩机和变频泵实现更大幅度的节能・节能　按照客户设备的负载， 对压缩机、泵的电机回转数进行变频控制　消耗功率：Max65％削減　冷却水量：Max67％削減・高性能　温度稳定性：±0.1...

・可空运・采用CO2冷媒（R744）・大幅削减GWP・无需氟利昂的回收、废弃处理・无需根据日本的氟利昂排放控制法，进行定期检查。※提供样机试用服务　请与最近的营业所联系　营业所一览 系列设定温度范围...

※PAF3410-X68的紧固螺栓、气动切换阀为不锈钢规格。　需要对应氢氟酸等全部非金属泵的场合，请使用PAF标准品。 系列驱动方式输出量（L/min）接触液体部材质 PAF3410...

系列驱动方式输出量（L/min）接触液体部分材质 PAP3310自动运转型1～13New PFA（氟树脂） PAP3313气控型0.1～9New PFA（氟树脂） ...

・追加小型、节能、输出量增加的主体材质聚丙烯（PP）・小型：高185mm×宽134mm×深202mm・轻量：3.0kg(聚丙烯)・接液泵体材质　可从PP（聚丙烯）、铝合金、不锈钢中选择・备有自动运转型...

系列驱动方式输出量（L/min）接触液体部分材质 PA3□□0自动运转型1～20ADC12（铝）SCS14（不锈钢） PA3□13气控型0.1～12ADC12（铝）...

・最高使用温度：260℃（因条件而异）。・通过食品卫生法实验。・FDA（美国食品药品监督管理局）§177-1550溶出实验合格。 系列管子外径公制管子外径英制颜色 TLM/TILMφ...

・抑制微尘的产生/减小占用空间　采用特殊结构，降低阀闭时的冲击。抑制微尘的产生。　减小占用空间（与以前产品相比）：阀宽减小20%，安装间距减小45%。・对应高压/高背压　使用压力：0〜0.5MPa　背...

・主体材质：New PFA／SUS／PPS・膜片材质：可选择PTFE，EPR，NBR・对应有机溶剂　主体材质：SUS、执行器部材质：ADC、缓冲器材质：FKM/EPDM・集装式型号：LLA2，LLA3...