・耐特殊温度环境　将密封圈和树脂部件变更为特殊材料，以适于在寒冷地区或热带地区等特殊环境条件下使用。 系列环境接管口径设定压力(MPa)过滤精度 AW30-2～AW60-2-X430...

・螺纹连接・轻量：2.5kg(铝制主体)・使用压力：－100~0kPa・公称过滤精度：149μm(100目)・可使用真空用压力表进行堵塞管理 系列连接口径使用压力（kPa）公称过滤精度（μm） ...

・大流量过滤（最大3200L/min）。 系列连接口径最高使用压力使用温度（℃） FGA25～150（1B～6B）JIS 10KFF1MPa最大80 ...

・最低使用压力：1×10-6Pa(abs)・泄漏量：内部1.3×10-9Pa・m3/s、外部1.3×10-11Pa・m3/s・备有2种接头、内螺纹・消耗功率：最大减少25%・重量：最大减轻18%　0....

・快速装卸（无需工具）。 系列操作方式轴密封方式阀形式材质法兰尺寸 XLAQ气控式波纹管密封单作用（N.C.）主体：铝波纹管：SUS316L16～50 XLDQ气控式...

・波纹管耐久性提升（法兰尺寸100、160）・寿命：200万次・可实现装置的省空间化　无排气方向限制(阀体侧←→波纹管侧 两方向均可)　安装姿势的自由度提升・轻量、紧凑 系列操作方式阀形式轴密封方式...

・采用铝制主体　均一的烤焙温度　轻量·紧凑　气体溢出少　重金属污染少・可更换波纹管 系列操作方式阀形式轴密封方式用途法兰尺寸 XLA-2气控式单作用（N.C.）波纹管密封无尘清洁化1...

［单向阀］・背压可防止流体的逆流。・结构简单，内部的可动零部件仅限O形圈。・采用无弹簧的结构，可减少因震颤等产生的颗粒，并降低下游侧的压力变动。［真空发生器］・真空发生器・更换钢瓶时，用于排出配管中残...

・用于半导体等需要高洁净度气体的行业。・可作为气体的切断阀使用。・接触气体部分无弹簧，驱动部也使用膜片隔离，因此减小了气路的死区，抑制了粒子的产生。 系列名称形式主体材质 AP高纯度...

・适合半导体等需要供给高洁净度气体的行业。・主体材质为SUS316L二次熔炼或SUS316L。・接触气体部分经过电解研磨处理。・外部金属密封构造。 系列形式用途主体材质 AP高纯度工...

・使用珀尔帖元件的小型温控器・用于局部温控或小容量的温控 系列设定温度范围冷却能力温度稳定性冷却方式适合流体 HEA0～50℃22W±0.1℃珀尔帖式风冷空气 ...

・对应低温／－10℃・紧凑：与HRS040尺寸相同・冷却能力：1kW(－10℃时)・温度稳定性：±0.1℃・设定温度范围：－10℃～40℃ 系列设定温度范围冷却能力温度稳定性冷却方式循环液 ...

・对应低温／－10℃・紧凑：与HRS040尺寸相同・冷却能力：1kW(－10℃时)・温度稳定性：±0.1℃・设定温度范围：－10℃～40℃ 系列设定温度范围冷却能力温度稳定性冷却方式循环液 ...

※PAF3410-X68的紧固螺栓、气动切换阀为不锈钢规格。　需要对应氢氟酸等全部非金属泵的场合，请使用PAF标准品。 系列驱动方式输出量（L/min）接触液体部材质 PAF3410...

系列驱动方式输出量（L/min）接触液体部分材质 PAP3310自动运转型1～13New PFA（氟树脂） PAP3313气控型0.1～9New PFA（氟树脂） ...

・追加小型、节能、输出量增加的主体材质聚丙烯（PP）・小型：高185mm×宽134mm×深202mm・轻量：3.0kg(聚丙烯)・接液泵体材质　可从PP（聚丙烯）、铝合金、不锈钢中选择・备有自动运转型...

系列驱动方式输出量（L/min）接触液体部分材质 PA3□□0自动运转型1～20ADC12（铝）SCS14（不锈钢） PA3□13气控型0.1～12ADC12（铝）...

・最高使用温度：260℃（因条件而异）。・通过食品卫生法实验。・FDA（美国食品药品监督管理局）§177-1550溶出实验合格。 系列管子外径公制管子外径英制颜色 TLM/TILMφ...

・主体材质：New PFA／SUS／PPS・膜片材质：可选择PTFE，EPR，NBR・对应有机溶剂　主体材质：SUS、执行器部材质：ADC、缓冲器材质：FKM/EPDM・集装式型号：LLA2，LLA3...

・最高使用压力：15MPa・小型・轻量：质量 130g(Rc3/8)、210g(Rc1/2)・防止异物附着在主阀周围的结构　采用激光焊接工艺，防止松动 形式系列连接口径最高使用压力 ...