・对空气压力进行与电气信号成比例的无级控制・最高供给压力：5.0MPa・设定压力范围：0.01~3.0MPa・最大流量：3,000L/min（ANR）・使用流体：空气,N2,O2,Ar・接触流体部：使...

・提高了1MPa以下的精度　重复性±0.5%F.S.以下　压力稳定性0.5%F.S.以下・最高供给压力：5.0MPa・设定压力范围：0.01～3.0MPa・最大流量：3000L/min（ANR）・使用...

・寿命：1000万次。　聚氨酯弹性座阀，高压环境下的耐久性提高。・导向（滑动）部适用NSF-H1标准的润滑脂。・采用金属密封型溢流阀，耐久性提高。・滑动部采用特殊氟树脂密封材质。　放置响应性稳定化，不...

・最高供给压力：3.0MPa・设定压力范围：0.2~2.0MPa　无级控制2.0MPa以内的空气压力・稳定性：±1%F.S.以下・消耗功率：3W以下・最大流量：3,000L/min（ANR）・接触流体...

・对空气压力进行与电气信号成比例的无级控制・最高供给压力：5.0MPa・设定压力范围：0.01~3.0MPa・最大流量：3,000L/min（ANR）・使用流体：空气,N2,O2,Ar・接触流体部：使...

・寿命：1000万次。　聚氨酯弹性座阀，高压环境下的耐久性提高。・导向（滑动）部适用NSF-H1标准的润滑脂。・采用金属密封型溢流阀，耐久性提高。・滑动部采用特殊氟树脂密封材质。　放置响应性稳定化，不...