对应输出※不同系列适用协议不同。　详情请参照各系列的样本。※NKE（株）的省配线H系统已于2021年2月停产。　请考虑更换为其他网络。 系列防护等级通信协议※适用的阀 EX120IP...

・无含氟气体・采用CO2冷媒・GWP大幅削减・GWP＝1 可对应各国的冷媒法规　EU冷媒管制 ：GWP150以上　美国冷媒管制 ：GWP700以上　加利福尼亚州冷媒管制 ：GWP750以上　※GWP表...

・与工厂内循环水直接热交换・适合在不需要制冷的范围内温控时使用・具有温度稳定性高、温度范围广、故障诊断、外部通信等丰富功能的装置，　在半导体过程控制装置上成果较多・符合UL、SEMI标准、CE认证・可...

・温度稳定性高、温度范围大、有故障诊断、外部通信等功能，广泛用于半导体行业・符合各种安全规格・符合UL, SEMI规格以及CE标识※提供样机试用服务　请与最近的营业所联系　营业所一览 シリーズ设定温...

对应输出※不同系列适用协议不同。　详情请参照各系列的样本。※NKE（株）的省配线H系统已于2021年2月停产。　请考虑更换为其他网络。 系列防护等级通信协议※适用的阀 EX120IP...

・阀位数/输出点数：对应4～64位※/128点　※阀位数为4的倍数。・有助于节省空间、减少 SI 单元的数量、减少配线和工时。 系列流量特性4/2→3/5（A/B→E）C［dm3/（s・bar）］流...

・适用流体：水、乙二醇水溶液・省空间　安装面积最大削减85%　重量最多削减65%・无配管：操作工时最多削减45%・对应IO-Link・3色、2画面显示・使用流体温度0～90℃ 系列额定流量范围（L/...

・可进行位置控制、速度控制和力矩控制。・控制编码器：绝对增量型20bit编码器。　（分辨率 1,048,576脉冲／回转）・适合现场总线：MECHATROLINK-Ⅱ、MECHATROLINK-Ⅲ※点...

・将电磁阀和电气比例阀连接到同一个集装式上　阀位数／输出点数：对应4～64位※/128点　※阀位数为4的倍数。　电气比例阀位数：1～4位　I/O单元位数：最多8位・通过元件一体化，实现控制和配线的集中...

・阀位数/输出点数：对应4～64位※/128点　※阀位数为4的倍数。・有助于节省空间、减少 SI 单元的数量、减少配线和工时。 系列流量特性4/2→3/5（A/B→E）C［dm3/（s・bar）］流...

・追加订制规格 [New]　对应无3通残压释放阀（-X101）　对应无调压阀（待机调压专用）（-X102）・空气消耗量：最大削减62%　监测到设备处于待机（生产停止时）的状态时，降低供气压力。　削减不...

・将电磁阀和电气比例阀连接到同一个集装式上　阀位数／输出点数：对应4～64位※/128点　※阀位数为4的倍数。　电气比例阀位数：1～4位　I/O单元位数：最多8位・通过元件一体化，实现控制和配线的集中...

・阀位数/输出点数：对应4～64位※/128点　※阀位数为4的倍数。・有助于节省空间、减少 SI 单元的数量、减少配线和工时。 系列流量特性4/2→3/5（A/B→E）C［dm3/（s・bar）］流...

・追加订制规格 [New]　对应无3通残压释放阀（-X101）　对应无调压阀（待机调压专用）（-X102）・空气消耗量：最大削减62%　监测到设备处于待机（生产停止时）的状态时，降低供气压力。　削减不...

・将电磁阀和电气比例阀连接到同一个集装式上　阀位数／输出点数：对应4～64位※/128点　※阀位数为4的倍数。　电气比例阀位数：1～4位　I/O单元位数：最多8位・通过元件一体化，实现控制和配线的集中...

・阀位数/输出点数：对应4～64位※/128点　※阀位数为4的倍数。・有助于节省空间、减少 SI 单元的数量、减少配线和工时。 系列流量特性4/2→3/5（A/B→E）C［dm3/（s・bar）］流...

・追加订制规格 [New]　对应无3通残压释放阀（-X101）　对应无调压阀（待机调压专用）（-X102）・空气消耗量：最大削减62%　监测到设备处于待机（生产停止时）的状态时，降低供气压力。　削减不...

・追加订制规格 [New]　对应无3通残压释放阀（-X101）　对应无调压阀（待机调压专用）（-X102）・空气消耗量：最大削减62%　监测到设备处于待机（生产停止时）的状态时，降低供气压力。　削减不...

・追加订制规格 [New]　对应无3通残压释放阀（-X101）　对应无调压阀（待机调压专用）（-X102）・空气消耗量：最大削减62%　监测到设备处于待机（生产停止时）的状态时，降低供气压力。　削减不...

・追加订制规格 [New]　对应无3通残压释放阀（-X101）　对应无调压阀（待机调压专用）（-X102）・空气消耗量：最大削减62%　监测到设备处于待机（生产停止时）的状态时，降低供气压力。　削减不...